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勻膠旋涂儀WS-650在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使膠液均勻涂覆在基片上，旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間、膠液和基片間的粘滯系數(shù)都會(huì)影響成膜厚度，旋轉(zhuǎn)過程及轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)的穩(wěn)定性對成膜質(zhì)量也有較大影響。

1.樣品尺寸：φ3~300mm

2.加速度：80000rpm/s（空載），30000rpm/s（負(fù)載：100mm標(biāo)準(zhǔn)晶圓）

3.轉(zhuǎn)速：1~12000rpm，伺服電機(jī)分辨率4000P/rev

4.旋轉(zhuǎn)方向：選配Hz型馬達(dá)，旋轉(zhuǎn)方向雙向可調(diào)

5.CDA/N2氣流保護(hù)技術(shù)

6.可選自動(dòng)滴膠模塊，EBR晶圓去邊模塊

7.多種托盤可選，適用各種材質(zhì)的樣品

勻膠旋涂儀托盤解決方案

1.常用真空托盤：10~150mm無需更換。

2.嵌入式：托盤中部做成圓形凹槽，樣品可嵌入其中，以避免樣品厚度過大引起氣體渦流效應(yīng)。

3.蜂窩式：適用于超薄易變形軟質(zhì)材料和易碎材料。

4.卡式托盤：適用于無法真空吸附的樣品，或者兩面都需要處理的樣品，因?yàn)楣潭〞r(shí)需要盡量減小與托盤的接觸面積，也可以使用卡式托盤，卡式托盤使用時(shí)轉(zhuǎn)速不宜過高。