ZEISS/蔡司Axio Imager Vario正置顯微鏡

用于大型樣品的正置顯微鏡

介紹

ZEISS/蔡司Axio Imager Vario正置顯微鏡分析極小的MEMS傳感器或整塊平板。其支柱設(shè)計(jì)讓您可以檢測(cè)超大樣品，同時(shí)保持高度穩(wěn)定性。此外，Axio Imager Vario已獲得潔凈室使用認(rèn)證。

·       檢查大型樣品

·       可兼容潔凈室

·       始終保持對(duì)焦

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

檢查大型樣品

選擇手動(dòng)或電動(dòng)支柱，盡享可檢測(cè)最大尺寸為300 mm × 300 mm、最大高度為254 mm樣品的優(yōu)勢(shì)。無(wú)論是處理重型樣品還是與蔡司LSM材料共聚焦激光掃描顯微鏡結(jié)合使用，堅(jiān)固的支柱設(shè)計(jì)均可防振動(dòng)，提供可靠的穩(wěn)定性。

獲得潔凈室工作認(rèn)證

晶圓和光掩模檢測(cè)對(duì)清潔度的要求非常高。因此，檢查需要在潔凈室內(nèi)完成。根據(jù)DIN EN ISO 14644-1標(biāo)準(zhǔn)，以每立方米內(nèi)顆粒數(shù)量和大小將潔凈室劃分成不同等級(jí)。Axio Imager Vario已通過(guò)該標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證，滿(mǎn)足5級(jí)潔凈室的要求。ISO 5級(jí)潔凈室相當(dāng)于原FED STD 209E（1992）標(biāo)準(zhǔn)的100級(jí)。

始終保持對(duì)焦

當(dāng)檢測(cè)低襯度反光表面時(shí)，只需為您的Axio Imager Vario配備高效的硬件自動(dòng)對(duì)焦。無(wú)論是對(duì)于反射光還是透射光，均可保證高精度。傳感器能夠探測(cè)到焦點(diǎn)位置變化，并自動(dòng)補(bǔ)償任何偏差。即使是大型樣品，在移動(dòng)時(shí)也能保持出色對(duì)焦。

硬件自動(dòng)對(duì)焦

材料研究和工業(yè)生產(chǎn)需要對(duì)焦精度可達(dá)物鏡景深0.3倍的高精度對(duì)焦系統(tǒng)。鎖定范圍高達(dá)12000 µm的對(duì)焦系統(tǒng)可滿(mǎn)足該要求。該自動(dòng)對(duì)焦適合使用反射光、透射光、明場(chǎng)、暗場(chǎng)、偏光、微分干涉相差及斜照明的應(yīng)用。

應(yīng)用

木材。反射光暗場(chǎng)，EC Epiplan-APOCHROMAT 10x/0.30 

電路板。反射光明場(chǎng)，EC Epiplan-NEOFLUAR 5x/0.13

晶圓。反射光暗場(chǎng)，EC Epiplan-APOCHROMAT 50x/0.95

單晶硅太陽(yáng)能電池。反射光，C-DIC，EC Epiplan-APOCHROMAT 50x/0.95