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熱輸運(yùn)測(cè)量系統(tǒng)
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壓電六軸并聯(lián)位移臺(tái),六自由度,兼容高真空
壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái),高負(fù)載通孔型,XYRz方向
壓電掃描臺(tái),物鏡型高負(fù)載,兼容無(wú)磁高真空
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壓電陶瓷掃描臺(tái),物鏡型,兼容無(wú)磁高真空
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