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北京瑞科中儀科技有限公司
中級會(huì)員 | 第2年

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當(dāng)前位置:北京瑞科中儀科技有限公司>>沉積系統(tǒng)>> 等離子沉積設(shè)備

等離子沉積設(shè)備

參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌SENTECH

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地北京市

更新時(shí)間:2024-10-10 08:54:11瀏覽次數(shù):212次

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價(jià)格區(qū)間 100萬-200萬 應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),石油,制藥,綜合
簡要描述:等離子沉積設(shè)備低刻蝕速率,高擊穿電壓,低應(yīng)力、不損傷襯底以及在低于100#176;C的沉積溫度下的低界面態(tài)密度,使得所沉積的薄膜具有優(yōu)異的性能。

等離子沉積設(shè)備

高密度等離子體

SI 500 D具有優(yōu)異的等離子體特性,如高密度,低離子能量和低壓等離子沉積介質(zhì)膜。

平行板ICP等離子體源

SENTECH*的平行板三螺旋天線(PTSA)ICP等離子體源實(shí)現(xiàn)了低功率耦合。

優(yōu)異的沉積性能

低刻蝕速率,高擊穿電壓,低應(yīng)力、不損傷襯底以及在低于100°C的沉積溫度下的低界面態(tài)密度,使得所沉積的薄膜具有優(yōu)異的性能。

動(dòng)態(tài)溫度控制

動(dòng)態(tài)溫度控制結(jié)合氦氣背冷的襯底電極,以及襯底背面溫度傳感在從室溫到+350°C的廣泛溫度范圍內(nèi)提供了優(yōu)異穩(wěn)定工藝條件。


SI 500 D了等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積的前沿技術(shù),如介質(zhì)膜、a-Si、SiC和其他材料。它基于PTSA等離子體源、獨(dú)立的反應(yīng)氣體進(jìn)氣口、動(dòng)態(tài)溫度控制襯底電極、全自動(dòng)控制的真空系統(tǒng)、采用遠(yuǎn)程現(xiàn)場總線技術(shù)的SENTECH控制軟件,以及操作SI 500 D的用戶友好的通用用戶界面。

SI 500 D等離子沉積設(shè)備可以加工各種各樣的襯底,從直徑高達(dá)200 mm的晶片到裝載在載片器上的零件。單晶片預(yù)真空室保證了穩(wěn)定的工藝條件,并實(shí)現(xiàn)在不同工藝之間的便捷切換。

SI 500 D等離子增強(qiáng)沉積設(shè)備用于在從室溫到350℃的溫度范圍內(nèi)沉積SiO2、SiNx、SiONx和a-Si薄膜。通過液態(tài)或氣態(tài)前驅(qū)體,SI 500 D可以為TEOS, SiC,和其它材料的沉積提供解決方案。SI 500 D特別適用于在低溫下在有機(jī)材料上沉積保護(hù)層和在既定的溫度下無損傷地沉積鈍化膜。

SENTECH提供不同級別的自動(dòng)化程度,從真空片盒載片到一個(gè)工藝腔室或六個(gè)工藝模塊端口,可用于不同的蝕刻和沉積工藝模塊組成多腔系統(tǒng),目標(biāo)是高靈活性或高產(chǎn)量。SI 500 D也可用作多腔系統(tǒng)中的一個(gè)工藝模塊。

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