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北京瑞科中儀科技有限公司
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RIE等離子刻蝕機(jī)2

參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌SENTECH

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地北京市

更新時(shí)間:2024-10-10 09:54:04瀏覽次數(shù):217次

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產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 生物產(chǎn)業(yè),農(nóng)業(yè),石油,地礦,制藥
簡(jiǎn)要描述:RIE等離子刻蝕機(jī)2我們的等離子蝕刻設(shè)備包括用功能強(qiáng)大的用戶友好軟件與模擬圖形用戶界面,參數(shù)窗口,工藝窗口,數(shù)據(jù)記錄和用戶管理。

RIE等離子刻蝕機(jī)2

工藝靈活性

RIE蝕刻機(jī)SI 591 特別適用于氯基和氟基等離子蝕刻工藝

占地面積小且模塊化程度高

SI 591 可配置為單個(gè)反應(yīng)腔或作為片盒到片盒裝載的多腔設(shè)備。

SENTECH控制軟件

RIE等離子刻蝕機(jī)2包括用功能強(qiáng)大的用戶友好軟件與模擬圖形用戶界面,參數(shù)窗口,工藝窗口,數(shù)據(jù)記錄和用戶管理。


預(yù)真空室和計(jì)算機(jī)控制的等離子體刻蝕工藝條件,使得SI 591 具有優(yōu)異的工藝再現(xiàn)性和等離子體蝕刻工藝靈活性。靈活性、模塊性和占地面積小是SI 591的設(shè)計(jì)特點(diǎn)。樣品直徑可達(dá)200mm,通過(guò)載片器加載。SI 591可以配置為穿墻式操作或具有更多選項(xiàng)的占地面積操作。

位于頂部電極和反應(yīng)腔體的更大診斷窗口可以輕易地容納SENTECH激光干涉儀或OES和RGA系統(tǒng)。橢偏儀端口可用于SENTECH橢偏儀進(jìn)行原位監(jiān)測(cè)。

SI 591結(jié)合了計(jì)算機(jī)控制的RIE平行板電極設(shè)計(jì)的優(yōu)點(diǎn)和預(yù)真空室系統(tǒng)。SI 591可配置用于各種材料的刻蝕。在SENTECH,我們提供不同級(jí)別的自動(dòng)化程度,從真空片盒載片到一個(gè)工藝腔室或多六個(gè)工藝模塊端口,可用于不同的蝕刻和沉積工藝模塊組成多腔系統(tǒng),目標(biāo)是高靈活性或高產(chǎn)量。SI 591也可用作多腔系統(tǒng)中的一個(gè)工藝模塊。


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