KASHIYAMA日本樫山真空泵SDT1800的特點

工藝耐性強：除形狀的螺桿外，新的加熱器系統(tǒng)進一步強化了工藝耐性，特殊材料具備高耐腐蝕性，能適應(yīng)豐富的溫度變化，可實現(xiàn)廣泛的工藝響應(yīng)。

無油干式設(shè)計：采用無潤滑油機械結(jié)構(gòu)，可避免介質(zhì)污染，適用于超潔凈工藝環(huán)境，如半導(dǎo)體晶圓制造等。

氮氣吹掃功能：支持氮氣吹掃功能，氮氣流量可在 0 至 120SLM 范圍內(nèi)調(diào)節(jié)，增強了工藝靈活性。

抽氣能力強：最大抽速可達 100,000L/min，極限壓力為 0.3Pa，能夠快速有效地抽取氣體，滿足不同應(yīng)用場景的真空需求。

高效節(jié)能：通過新型加熱器系統(tǒng)與機械結(jié)構(gòu)優(yōu)化，實現(xiàn)了低功耗化，功率僅 3.3kW。

小型化設(shè)計：外形尺寸為 1050×515×950mm，機身小巧，節(jié)省安裝空間。

冷卻水需求低：冷卻水流量僅需 4.0L/min，對冷卻系統(tǒng)的要求不高，可降低運行成本和設(shè)備復(fù)雜度。

安全可靠：屬于耐加工和 Super Hirsch 兼容機器，符合工業(yè)安全標(biāo)準，配備高安全性防護設(shè)計，能在工況下穩(wěn)定運行。

產(chǎn)品兼容性好：支持與同系列設(shè)備協(xié)同工作，可擴展應(yīng)用場景，例如可與 SDT600 或 SDX1200 等搭配使用。

應(yīng)用領(lǐng)域廣泛：適用于化工、電子 / 電池、半導(dǎo)體制造、實驗室等領(lǐng)域，可用于晶圓加工、蝕刻等關(guān)鍵工藝的真空環(huán)境控制，以及高純度實驗環(huán)境及腐蝕性氣體處理。