目錄:孚光精儀（中國(guó)）有限公司>>表面微納測(cè)量>>表面形貌儀>> FPNAN-NV進(jìn)口3D光學(xué)輪廓儀
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更新時(shí)間：2024-08-29 14:32:16瀏覽次數(shù)：639評(píng)價(jià)
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| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類(lèi) | 非接觸式輪廓儀/粗糙度儀 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
3D光學(xué)輪廓儀是具有白光干涉和相移干涉技術(shù)的表面形貌儀,具有高掃描速度,垂直分辨率高達(dá)亞納米0.1nm,從而具有三維臺(tái)階儀功能。
3D光學(xué)輪廓儀NV系列具有探針jian端/傾斜功能，能夠測(cè)量甚至高度傾斜的表面?？梢蕴摂M測(cè)量任何表面，并立即顯示生動(dòng)的3D圖像，如紋理,粗糙度,透明的樣品等等。
3D光學(xué)輪廓儀特點(diǎn)
白光掃描干涉技術(shù)-非接觸、無(wú)損、快速測(cè)量
觸針儀器不能測(cè)量小于觸針jian端直徑的微凹凸。白光干涉測(cè)量法可以測(cè)量微幾何形狀的表面粗糙度由于微小的光斑尺寸而具有相當(dāng)高的分辨率。
移相干涉技術(shù)
相移干涉測(cè)量法是一種成熟的技術(shù)用于依賴(lài)于在受控相移期間獲取的干擾數(shù)據(jù)，大多數(shù)通常由受控的機(jī)械振蕩引起干擾物鏡,它提供具有典型高度測(cè)量的完整3D圖像,重復(fù)精度高達(dá)1nm。
區(qū)域掃描強(qiáng)度測(cè)量方法
與掃描視場(chǎng)中每個(gè)點(diǎn)的方法不同，WSI具有通過(guò)測(cè)量來(lái)減少測(cè)量時(shí)間的*點(diǎn)區(qū)域掃描
輪廓儀的粗糙度測(cè)量功能
高可追溯性和重復(fù)精度
通過(guò)美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)與技術(shù)研究院認(rèn)證的超大規(guī)模集成電路步長(zhǎng)標(biāo)準(zhǔn)樣品進(jìn)行校準(zhǔn)。實(shí)現(xiàn)ji高的精度和作為高度測(cè)量系統(tǒng)的可重復(fù)精度。
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