目錄:孚光精儀（中國）有限公司>>表面微納測量>>納米壓痕儀>> FPNAN-NanoBeam-nB5電子束蝕刻機
電子束蝕刻機,電子束光刻機是納米級刻蝕機，非常適合納米技術(shù)和芯片的制造研發(fā)。
電子束蝕刻機,電子束光刻機特點
*化設(shè)計和組件，以減少日常服務(wù)需求。
實現(xiàn)每年少于5%的機器故障停機時間。
提高性能,促進批量生產(chǎn)。
電子束蝕刻機,電子束光刻機規(guī)格參數(shù)
射束電壓范圍20kV-100kV
光膠上的特征尺寸<8nm
500um場的縫合/重疊誤差<25nm
自動加載5卡盤氣鎖系統(tǒng)
電子束蝕刻機,電子束光刻機是納米級刻蝕機，非常適合納米技術(shù)和芯片的制造研發(fā)。
電子束蝕刻機,電子束光刻機特點
*化設(shè)計和組件，以減少日常服務(wù)需求。
實現(xiàn)每年少于5%的機器故障停機時間。
提高性能,促進批量生產(chǎn)。
電子束蝕刻機,電子束光刻機規(guī)格參數(shù)
射束電壓范圍20kV-100kV
光膠上的特征尺寸<8nm
500um場的縫合/重疊誤差<25nm
自動加載5卡盤氣鎖系統(tǒng)
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