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PICOSUN原子層沉積系統(tǒng)ALD R-200 Pro

（PICOSUN™ ALD R-200 S Pro）

原子層沉積系統(tǒng)（ ALD P-200）

名稱：原子層沉積系統(tǒng)  產(chǎn)地：芬蘭

Picosun簡介

Picosun是yi家公司，Picosun的總部位于芬蘭的Espoo，其生產(chǎn)設(shè)施位于芬蘭的Masala（Kirkkonummi）。PICOSUN®ALD設(shè)備專為高產(chǎn)量和高產(chǎn)量而設(shè)計，并且不斷發(fā)展以提高效率。Picosun適應(yīng)性強(qiáng)其客戶包括  大的電子制造商，小型的創(chuàng)新型挑戰(zhàn)者以及的大學(xué)。 Picosun的組織機(jī)構(gòu)和種類繁多的ALD解決方案都可以滿足每個客戶的需求。PICOSUN®研發(fā)工具具有*的內(nèi)置可擴(kuò)展性，可確保將研究結(jié)果平穩(wěn)過渡到大批量工業(yè)制造中，而不會出現(xiàn)技術(shù)差距。Picosun的熱情在于創(chuàng)新。當(dāng)您想與設(shè)備制造商共同創(chuàng)建定制的ALD解決方案，從而引ling行業(yè)發(fā)展時，Picosun是您的合作伙伴。

PICOSUN™ P系列量產(chǎn)ALD系統(tǒng)定義了高產(chǎn)量ALD的新時代。我們?nèi)詣踊?、真空集群與產(chǎn)線兼容的P系列ALD確保了大的產(chǎn)出效率，并且具有的工藝純度和薄膜均勻性，甚至能*具有嚴(yán)格要求的半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。PICOSUN™ P系列ALD高效緊湊的設(shè)計節(jié)約了昂貴的場地成本，系統(tǒng)的易維護(hù)性減少了停工期。對于系統(tǒng)的維護(hù)、工藝故障的排除，我們?yōu)榭蛻籼峁I(yè)的售后服務(wù)Picosupport™。根據(jù)用戶的需求，確保每時每（24/7/365）快速提供全面的解決方案。在購買之前，我們提供做樣服務(wù)，確保系統(tǒng)具有好的性能，*您的需求。

技術(shù)指標(biāo)

應(yīng)用領(lǐng)域

PICOSUN™ 200mm 生產(chǎn)線上的產(chǎn)品是200mm以下晶圓的自動化、高產(chǎn)量的工業(yè)ALD加工設(shè)備。包括PICOSUN™ P系列Pro ALD設(shè)備。該工具可以獨立工作，也可以集成到PICOPLATFORM™200真空集群系統(tǒng)以達(dá)到更高的產(chǎn)量和自動化水平。為了節(jié)約昂貴的設(shè)施空間，所有PICOSUN™的ALD系統(tǒng)有著緊湊，高效的設(shè)計。集成的專業(yè)機(jī)柜，裝載著前驅(qū)體和電子元件，保證了快速簡便的維護(hù)和短的停機(jī)時間。PICOSUN™ P系列Pro工具保證了大產(chǎn)能以及節(jié)約成本的情況下得到的ALD工藝質(zhì)量，并履行嚴(yán)格的現(xiàn)代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的生產(chǎn)力和安全要求。