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KLA Zeta™-388光學輪廓儀提供3D量測和成像功能，與集成防震臺和晶圓操作系統(tǒng)結合，可實現(xiàn)全自動測量。該系統(tǒng)采用ZDot™ 技術...

KLA Zeta™-300光學輪廓儀可提供3D 量測和成像功能，與集成式防震臺和靈活的配置相結合，可以處理更大的樣品。該系統(tǒng)采用ZDot&trade...

全新的KLA Zeta™-Solar光學輪廓儀專為滿足優(yōu)良金屬化工藝中對于細柵線、接觸墊和主柵線的測量需求而設計。更為優(yōu)良的3D 成像技術，以及最大...

KLA Zeta™-20光學輪廓儀是一個高度集成的光學輪廓顯微鏡，可在緊湊、耐用的包裝下提供3D量測和成像功能。該系統(tǒng)采用ZDot™ 技...

KLA Filmetrics® Profilm3D® 光學輪廓儀和 Profilm3D-200 光學輪廓儀經濟實惠，是一套非接觸式基于白光干...

KLA HRP®-260 探針式輪廓儀是一個高分辨率、自動化探針式輪廓儀，提供從幾納米到 300 微米的臺階高度測量功能。P-260支持臺階高度、粗糙...

KLA Tencor® P-170 探針式輪廓儀是一款自動化輪廓儀，可為生產環(huán)節(jié)提供從幾納米到一毫米的臺階高度測量功能。該系統(tǒng)支持對臺階高度、粗糙度、...

Alpha-Step D-500接觸式探針式輪廓儀能夠測量幾納米到1200微米高的2D臺階。D-500也支持在研發(fā)和生產環(huán)節(jié)中對粗糙度、彎曲度和應力進行2D測量...

P-17粗糙度測量探針式輪廓儀為生產和研發(fā)環(huán)節(jié)提供從幾納米到一毫米的臺階高度測量功能。該系統(tǒng)支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行二維(2D)和三維(3D)測...

Tencor P-7薄膜生長表面檢測探針式輪廓儀為生產和研發(fā)環(huán)節(jié)提供了從幾納米到一毫米的臺階高度測量功能。該系統(tǒng)支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行二維(2...

半導體薄膜生長表面檢測Alpha-Step® D-600探針式輪廓儀能夠測量從幾納米到 1200微米的2D和3D臺階高度。D-600 還支持2D和3D...