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橢偏儀

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號SE系列

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

產(chǎn)品資料下載

所  在  地國外

更新時間:2019-02-13 10:13:04瀏覽次數(shù):6134次

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產(chǎn)地類別 進口 價格區(qū)間 面議
橢偏儀是一種利用偏振態(tài)的變化 后光束探測樣品反應技術(shù)。不像反射儀,參數(shù)(PSI和Del)是在非正常的入射角得到。改變?nèi)肷浣恰?梢缘玫礁嗟臄?shù)據(jù)集,這將有助于精煉模型,減少不確定性和提高用戶的數(shù)據(jù)信心。因此,可變角度比固定角度的系統(tǒng)具有更強大的功能 。目前有兩種方法改變?nèi)肷浣?,手動或自動模式?/div>

橢偏儀是一種利用偏振態(tài)的變化 后光束探測樣品反應技術(shù)。不像反射儀,橢偏儀參數(shù)(PSI和Del)是在非正常的入射角得到。改變?nèi)肷浣???梢缘玫礁嗟臄?shù)據(jù)集,這將有助于精煉模型,減少不確定性和提高用戶的數(shù)據(jù)信心。因此,可變角度比固定角度的系統(tǒng)具有更強大的功能 。目前有兩種方法改變?nèi)肷浣?,手動或自動模式?/p>

Ansgtrom Sun公司設(shè)計角度調(diào)整模型,通過5度間隔后精確預置槽移動手臂手動調(diào)節(jié)角度和電動精密測角0.01度分辨率兩種模型。此外,測角垂直布局設(shè)計,樣品可以水平放置,這是更安全的處理樣品時??煽康暮妥銐虻脑紨?shù)據(jù)集,更多膜的性能參數(shù),如薄膜或涂層 厚度,光學常數(shù)(折射率n,消光系數(shù)k指數(shù))、接口、孔隙度甚至成分可以通過建模。在這個意義上,*進的軟件是一個必須為高性能光譜(SE)工具。我們開發(fā)了TFprobe 3 x版軟件的系統(tǒng)設(shè)置。仿真,測量,分析,數(shù)據(jù)管理和2D / 3D圖形演示的一體機。  此外,SE200工具覆蓋了很寬的波長范圍內(nèi),從深紫外線(DUV)在可見光到近紅外(250~1100nm),標準配置。DUV范圍適合衡量超薄膜,如納米厚度范圍。一個例子是在硅晶片上的原生氧化層,這是典型的2nm厚的*。深紫外光譜也是*的,用戶需要測量多種材料的帶隙。

 SE系列型號:

Spectroscopic Ellipsometer SE200BA-M300

Spectroscopic Ellipsometer SE200BA-MSP

Spectroscopic Ellipsometer SE200BM-M300

Spectroscopic Ellipsometer SE200BM-M450

Spectroscopic Ellipsometer SE200BM-Solar

Spectroscopic Ellipsometer SE300BM

 Spectroscopic Ellipsometer SE500BA

 

 

 

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