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更新時(shí)間:2019-02-13 10:13:04瀏覽次數(shù):6091次
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橢偏儀是一種利用偏振態(tài)的變化 后光束探測(cè)樣品反應(yīng)技術(shù)。不像反射儀,橢偏儀參數(shù)(PSI和Del)是在非正常的入射角得到。改變?nèi)肷浣???梢缘玫礁嗟臄?shù)據(jù)集,這將有助于精煉模型,減少不確定性和提高用戶的數(shù)據(jù)信心。因此,可變角度比固定角度的系統(tǒng)具有更強(qiáng)大的功能 。目前有兩種方法改變?nèi)肷浣?,手?dòng)或自動(dòng)模式。
Ansgtrom Sun公司設(shè)計(jì)角度調(diào)整模型,通過(guò)5度間隔后精確預(yù)置槽移動(dòng)手臂手動(dòng)調(diào)節(jié)角度和電動(dòng)精密測(cè)角0.01度分辨率兩種模型。此外,測(cè)角垂直布局設(shè)計(jì),樣品可以水平放置,這是更安全的處理樣品時(shí)??煽康暮妥銐虻脑紨?shù)據(jù)集,更多膜的性能參數(shù),如薄膜或涂層 厚度,光學(xué)常數(shù)(折射率n,消光系數(shù)k指數(shù))、接口、孔隙度甚至成分可以通過(guò)建模。在這個(gè)意義上,*進(jìn)的軟件是一個(gè)必須為高性能光譜(SE)工具。我們開(kāi)發(fā)了TFprobe 3 x版軟件的系統(tǒng)設(shè)置。仿真,測(cè)量,分析,數(shù)據(jù)管理和2D / 3D圖形演示的一體機(jī)。 此外,SE200工具覆蓋了很寬的波長(zhǎng)范圍內(nèi),從深紫外線(DUV)在可見(jiàn)光到近紅外(250~1100nm),標(biāo)準(zhǔn)配置。DUV范圍適合衡量超薄膜,如納米厚度范圍。一個(gè)例子是在硅晶片上的原生氧化層,這是典型的2nm厚的*。深紫外光譜也是*的,用戶需要測(cè)量多種材料的帶隙。
SE系列型號(hào):
Spectroscopic Ellipsometer SE200BA-M300
Spectroscopic Ellipsometer SE200BA-MSP
Spectroscopic Ellipsometer SE200BM-M300
Spectroscopic Ellipsometer SE200BM-M450
Spectroscopic Ellipsometer SE200BM-Solar
Spectroscopic Ellipsometer SE300BM
Spectroscopic Ellipsometer SE500BA
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