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德國韋氏納米系統(tǒng)(香港)有限公司
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蝕刻殘留物去除劑

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號EFC270

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地香港特別行政區(qū)

更新時間:2019-01-17 13:18:44瀏覽次數(shù):5077次

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供貨周期 現(xiàn)貨 規(guī)格 1加侖1瓶
貨號 EFC270 主要用途 接觸清潔 , 金屬線清潔,TSV深硅穿孔清潔等
杜邦蝕刻殘留物去除液

 

 

杜邦™plasmasolv®ekc265™蝕刻后殘留物去除            

特點:

制定zui jia的金屬堆棧完整性  

“改進”寬窗口處理能力

強化蝕刻殘余物去除

清洗的掩膜減少化學(xué)殘留

超大規(guī)模集成電路(ULSI)級規(guī)格*進封裝清洗

工作溫度下蒸發(fā)速率低

 

應(yīng)用:        

應(yīng)用EKC265™蝕刻后殘留物器廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體行業(yè),以滿足關(guān)鍵的清潔需求            

從高深寬比MEMS器件100μm+ 到*進DRAM 的70nm集成的各個階段

下面列出了常見的應(yīng)用程序: 

  • 接觸清潔            

  • 金屬線清潔

  • TSV深硅穿孔清潔           

  • 鎢埋位線清洗            

  • 聚酰亞胺清洗            

  • Pad清潔            

  • MEMS清洗

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