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德國韋氏納米系統(tǒng)(香港)有限公司
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快速退火爐

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號AS-One systems

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地香港特別行政區(qū)

更新時間:2019-03-05 10:36:59瀏覽次數(shù):3487次

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產(chǎn)地類別 進口
AS-One系統(tǒng)有兩種型號: AS-One 100 系統(tǒng)或AS-One 150 系統(tǒng)
該快速退火爐是專門為滿足大學(xué)、研究實驗室和小規(guī)模生產(chǎn)的需求而研制的,高可靠且性價比高。

該工藝室采用貝殼式設(shè)計,可*進入底板,方便裝載和卸載基板,并允許實際清潔腔體

快速數(shù)字PID溫度控制器在整個溫度范圍內(nèi)提供精確和可重復(fù)的熱控制。

 

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AS-One系統(tǒng)有兩種型號: AS-One 100 系統(tǒng)或AS-One 150 系統(tǒng)

快速退火爐是專門為滿足大學(xué)、研究實驗室和小規(guī)模生產(chǎn)的需求而研制的,高可靠且性價比高。

 

該工藝室采用貝殼式設(shè)計,可*進入底板,方便裝載和卸載基板,并允許實際清潔腔體

 

快速數(shù)字PID溫度控制器在整個溫度范圍內(nèi)提供精確和可重復(fù)的熱控制。

 

特征
基本尺寸:

Up to 直徑100 mm (4-inch) for AS-One 100 

Up to 直徑150 mm (6-inch) for AS-One 150 

Small substrates using susceptors

工藝腔體運用不銹鋼冷腔室壁技術(shù)
溫度范圍標準配置:高達到1250°C

高溫配置:高達到1450°C

溫度控制

標準配置:熱電偶和高溫計用來測量溫度

快速數(shù)字PID溫度控制器在可獲得精確的和可重復(fù)的熱控制

真空和氣體多可達5路帶MFC的工藝氣體,一路清潔氣體
電腦控制

全PC電腦控制,每個配方多100步驟

全數(shù)據(jù)記錄與處理歷史的人機界面設(shè)計

選項:

石墨托盤/碳化硅涂層托盤/粗真空泵和渦輪泵/快速冷卻系統(tǒng)/其他套件

 

 

應(yīng)用

 

 

我公司專業(yè)銷售Annealsys產(chǎn)品,并提供Annealsys產(chǎn)品的售前售后服務(wù),如您對Annealsys產(chǎn)品感興趣,歡迎前來咨詢!

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