KLA Tencor® P-17探針式輪廓儀是第八代臺(tái)式探針式輪廓儀，它凝結(jié)了逾40年的表面量測(cè)經(jīng)驗(yàn)。該行業(yè)的系統(tǒng)支持對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行二維(2D)和三維(3D)測(cè)量，掃描范圍可達(dá)200mm，無(wú)需拼接。

出色的測(cè)量穩(wěn)定性通過結(jié)合UltraLite^® 傳感器、恒力控制和超平掃描樣品臺(tái)實(shí)現(xiàn)。通過使用點(diǎn)擊式樣品臺(tái)控制、頂視和側(cè)視光學(xué)元件以及具有光學(xué)變焦功能的高分辨率相機(jī)，可快速輕松地設(shè)置程式。KLA Tencor® P-17探針式輪廓儀支持2D或3D測(cè)量，可使用多種濾波、調(diào)平和分析算法來(lái)測(cè)量表面形貌。通過圖形識(shí)別、序列和特征檢測(cè)實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測(cè)量。

特征

• 臺(tái)階高度：納米級(jí)到1000微米

• 恒力控制：0.03至15mg

• 無(wú)需拼接即可掃描樣品的全直徑

• 視頻：5MP高分辨率彩色相機(jī)

• 弧形校正：可消除探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差

• 軟件：簡(jiǎn)單易用的軟件界面

• 生產(chǎn)能力：具有測(cè)序、圖形識(shí)別和SECS/GEM功能的全自動(dòng)測(cè)量

應(yīng)用

• 臺(tái)階高度：2D和3D臺(tái)階高度

• 紋理：2D和3D粗糙度和波紋度

• 形狀：2D和3D翹曲形狀

• 應(yīng)力：2D和3D薄膜應(yīng)力

• 缺陷檢測(cè)：2D 和 3D 缺陷表面形貌

工業(yè)

• 高校、實(shí)驗(yàn)室和研究所

• 半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體

• LED：發(fā)光二極管

• 太陽(yáng)能

• MEMS:微機(jī)電系統(tǒng)

• 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)

• 汽車

• 醫(yī)療器械