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詳細(xì)介紹
二手HITACHI-SU8010高分辨場發(fā)射掃描電鏡特點：
1. 優(yōu)秀的低加速電壓成像能力，1kv分辨率可達(dá)1.3nm
2. 日立的ExB設(shè)計，不需噴鍍，可以直接觀測不導(dǎo)電樣品
3. Upper探頭可選擇接受二次電子像或背散射電子像
4. 可以根據(jù)樣品類型和觀測要求選擇打開或關(guān)閉減速功能
5. 標(biāo)配有冷指、電子槍內(nèi)置加熱器，物鏡光闌具有自清潔功能
6. 儀器的烘烤維護(hù)及烘烤后的透鏡機械對中均可由用戶
二手HITACHI-SU8010高分辨場發(fā)射掃描電鏡特點：
1. 優(yōu)秀的低加速電壓成像能力，1kv分辨率可達(dá)1.3nm
2. 日立的ExB設(shè)計，不需噴鍍，可以直接觀測不導(dǎo)電樣品
3. Upper探頭可選擇接受二次電子像或背散射電子像
4. 可以根據(jù)樣品類型和觀測要求選擇打開或關(guān)閉減速功能
5. 標(biāo)配有冷指、電子槍內(nèi)置加熱器，物鏡光闌具有自清潔功能
6. 儀器的烘烤維護(hù)及烘烤后的透鏡機械對中均可由用戶自行完成
的技術(shù)規(guī)格：
| 二次電子分辨率 | 1.0nm（加速電壓15kV、WD＝4mm） | |
| 1.3nm（加速電壓1kV、WD＝1.5mm） | ||
| 加速電壓 | 0.1～30kV | |
| 觀測倍率 | 20～8000,000(底片輸出) | |
| 60～2,000,000（顯示器輸出） | ||
| 樣品臺 | ||
| 馬達(dá)驅(qū)動 | 3軸馬達(dá) | |
| 5軸（選配） | ||
| 行程 | X | 0～50mm |
| Y | 0～50mm | |
| Z | 360° | |
| T | -5～70° | |
| R | 1.5～30mm | |
| zui大裝載尺寸 | 100mm（zui大） | |
| 150mm（選配） | ||
| 探頭 | ||
| 標(biāo)配 | Lower | 高立體感圖像 |
| Upper | 高分辨SE、BSE圖像 | |
| 選配 | STEM | 明場像、暗場像 |
| YAG 探頭 | BSE圖像 | |
| 半導(dǎo)體探頭 | BSE圖像 | |
| EBIC | 電子束感生電流圖像 | |
| EDS | 元素分析 | |
| 反污染措施 | ||
| 冷指 | 標(biāo)配 | |
| 物鏡光闌 | 內(nèi)置自清潔功能 | |
| 電子槍 | 內(nèi)置加熱器 | |
| 真空系統(tǒng) | ||
| 離子泵 | 3臺 | |
| 分子泵 | 1臺 | |
| 機械泵 | 1臺 | |
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