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二手 牛津 EDX X-MaX能譜儀也稱為能量色散X射線譜EDX，是一種定性和定量的X射線微束分析技術(shù)，可以檢測(cè)原子序數(shù)(Z) >3的元素信息，盡管對(duì)于特定的樣品和設(shè)備配置，原子序數(shù)(Z) =3，鋰元素的檢鋰元素的檢測(cè)也是可以實(shí)現(xiàn)的。

二手 牛津 EDX X-MaX能譜儀的數(shù)據(jù)輸出形式通常是一個(gè)能譜圖。能譜圖以橫坐標(biāo)表示能量，縱坐標(biāo)表示強(qiáng)度或計(jì)數(shù)。它展示了不同能量處的光子或電子的分布情況，可以反映樣品中元素的特征能量峰。此外，EDS 數(shù)據(jù)還可以包括定量分析結(jié)果（元素的含量百分比等），以及元素分布圖（線掃描和面掃描）。具體的輸出形式可能會(huì)因使用的儀器和軟件而有所差異。

圖2 EDS譜圖。特征X射線形成疊加在軔致輻射X射線上的峰，可通過(guò)它來(lái)識(shí)別樣品中的元素。

二手 牛津 EDX X-MaX能譜儀樣品是由原子組成的。當(dāng)入射電子束聚焦在樣品上時(shí)，它們穿透樣品并與構(gòu)成樣品材料的原子相互作用。在SEM中，來(lái)自入射電子束的電子在樣品中擴(kuò)散，形成相互作用體積。相互作用體積的大小取決于入射電子束的加速電壓和樣品的平均原子序數(shù)(或密度)。加速電壓越大，相互作用體積越大，但平均原子序數(shù)越高的樣品，相互作用體積越小。

在SEM中，二次電子是從樣品表面或相互作用體積的頂部產(chǎn)生的；背散射的電子來(lái)自相互作用體積的上半部分；X射線產(chǎn)生于整個(gè)相互作用體積內(nèi)。因此，SEM中X射線顯微分析的典型空間分辨率是微米數(shù)量級(jí)。

能譜儀60秒內(nèi)即可完成全譜面分析采集；多種報(bào)告輸出方式；64位多任務(wù)能譜分析軟件；界面中有五個(gè)功能模塊，每個(gè)都清楚的顯示采集步驟；能譜儀最高分辨率可達(dá)到2048；可同時(shí)保存二次電子像（SE）和背散射電子像（BSE）；可以對(duì)點(diǎn)、矩形區(qū)域、橢圓形區(qū)域以及自定義區(qū)域進(jìn)行采集；能譜儀根據(jù)線上點(diǎn)的數(shù)量或點(diǎn)與點(diǎn)的間距定義線掃描；自動(dòng)采集整條線的X射線譜圖；可以在一個(gè)視場(chǎng)內(nèi)進(jìn)行多條線掃描；自動(dòng)標(biāo)識(shí)元素；無(wú)標(biāo)樣定量；和峰修正；快速簡(jiǎn)便的報(bào)告模版功能；能譜儀多種供選擇的模版；以Microsoft Word格式輸出。