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目錄:深圳市科晶智達科技有限公司>>薄膜制備設(shè)備>>蒸發(fā)鍍膜設(shè)備>> OTF-1200X-RTP-II 近距離蒸發(fā)鍍膜(CSS)爐

OTF-1200X-RTP-II 近距離蒸發(fā)鍍膜(CSS)爐
  • OTF-1200X-RTP-II 近距離蒸發(fā)鍍膜(CSS)爐
參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
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具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 品牌 其他品牌
  • 型號
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 深圳市
屬性

產(chǎn)地類別:國產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域:電氣

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更新時間:2025-02-17 12:55:41瀏覽次數(shù):1259評價

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產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 電氣
OTF-1200X-RTP-II 近距離蒸發(fā)鍍膜(CSS)爐專門針對于用PVD或CSS法來制作薄膜。管式爐爐管直徑為11“ OD,爐管內(nèi)載樣盤可放置3“ 的圓形或2“x2“的方形基片。加熱元件為兩組紅外燈管,分別安裝在腔體的頂端和底部,其升溫速率高達20ºC/S 。溫控系統(tǒng)為PID30段程序化控制,控溫精度為+/-1ºC。儀器面板上帶有RS485接口,儀表內(nèi)配有控溫軟件,可將升溫程序和曲線導出。

OTF-1200X-RTP-II 3英寸近距離蒸發(fā)鍍膜儀爐


性能指標和基本配置
爐體結(jié)構(gòu)&真空腔

● 兩個獨立的加熱裝置,兩個獨立控溫裝置及兩路浮子流量計均被精巧的設(shè)計在一個可移動的鋁合金框架上。
● 腔體是由高純石英管制成
● 真空法蘭由不銹鋼制成

基本參數(shù)

● 石英腔體尺寸:11"O.D×10.8"I.D×9"H mm
● 推薦加熱速率:≦10℃/s
● 最高工作溫度:≦600℃
● 總功率:8KW(8根紅外燈管,單根功率1KW)
● 電壓:AC220V,50Hz,單相(需20A的空氣開關(guān))

加熱元件和載樣臺

● 由兩組紅外燈管作為加熱元件可實現(xiàn)快速加熱
● 兩個獨立的加熱裝置之間的距離可調(diào)0-70mm
● 為了減小熱輻射和達到快速冷卻的效果,加熱元件被嵌在水冷機構(gòu)上
● 一個3"的基片載樣臺安裝腔體頂部
● 緊貼頂部加熱元件上安裝有一氮化鋁基片(Ф3"×T0.5 mm ),使其儀器使用時樣品基片上的溫度更加均勻
● 可將AlN陶瓷片更換為石墨片(請點擊下圖3選購)
● 3"的石墨坩堝可以放在底部加熱元件上來盛裝蒸發(fā)料
● 如需要更換紅外燈管,請點擊下圖4選購
   image.png

真空法蘭

● 真空法蘭材質(zhì)為316不銹鋼制作
● 頂部法蘭上有一KF25接口,可以與真空泵相連接,另外安裝有兩個1/4" 軟管接頭的出氣口
● 底部法蘭上有一KF25接口,可以與真空泵相連接,另外安裝有兩個1/4" 軟管接頭的進氣口
● 法蘭是通過兩個硅膠O型圈進行密封,通過機械泵(標配不含機械泵)抽真空度可達10-2 torr,頂部法蘭可手動操作進行上下移動來進行加載/卸載襯底和蒸發(fā)料。
● 一個防腐型數(shù)顯式真空表安裝在法蘭頂部,可精確測量腔體內(nèi)真空度。
 image.png

溫控系統(tǒng)

● 兩個數(shù)顯式溫控表都可設(shè)置30段控溫程序
● 每個溫控表都具有PID調(diào)節(jié)功能,保護加熱器不受過熱影響同時具有報警功能,避免過熱使熱電偶損壞
● 該設(shè)備可與計算機相連接,可選購控溫軟件,將溫度程序設(shè)置和溫度曲線導入電腦中。
 image.png

工作溫度

每個加熱器最高溫度:≦600℃

熱電偶

兩個K型熱電偶分別安裝在上下法蘭上

可選配件

水冷機
image.png

外形尺寸

850(L)×745(W)×1615(H) mm
image.png

警告● 石英管密封采用真空密封,管內(nèi)可處于微正壓但壓力要小于0.02MPa。
● 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全。
● 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態(tài)。
● 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
應(yīng)用提示

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質(zhì)量認證

CE認證

保修期一年保修,終身技術(shù)支持。
特別提示:
1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
點擊查看售后服務(wù)承諾書。






  OTF-1200X-RTP-II 3英寸近距離蒸發(fā)鍍膜儀爐

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