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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司

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掃描式光刻機(jī)

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)Nikon S205C

品牌Nikon/日本尼康

廠商性質(zhì)經(jīng)銷(xiāo)商

所在地深圳市

更新時(shí)間:2024-09-04 14:39:34瀏覽次數(shù):632次

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1、Nikon S205C掃描式光刻機(jī)
光源波長(zhǎng)248nm
分辨率優(yōu)于0.15µm
主要用于8寸及12寸生產(chǎn)線
廣泛應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體、MEMS、LED等領(lǐng)域
2、產(chǎn)品詳情
主要技術(shù)指標(biāo)
分辨率0.15µm
N.A.0.75
曝光光源248nm
倍率4:1
最大曝光現(xiàn)場(chǎng)25mm*33mm
對(duì)準(zhǔn)精度
LSA:35nm
FIA:40nm

一、產(chǎn)品概述:

Nikon S205C 掃描式光刻機(jī)是一款高效能的半導(dǎo)體制造設(shè)備,專(zhuān)為 200mm 晶圓的生產(chǎn)設(shè)計(jì)。該機(jī)型采用先進(jìn)的掃描光刻技術(shù),能夠?qū)崿F(xiàn)高分辨率和精確的圖案轉(zhuǎn)移,廣泛應(yīng)用于集成電路、微處理器和存儲(chǔ)器等電子元件的制造。憑借其快速曝光速度和良好的穩(wěn)定性,S205C 非常適合大批量生產(chǎn),同時(shí)其用戶友好的操作界面和自動(dòng)化功能也降低了操作難度,提升了生產(chǎn)效率。這使得 Nikon S205C 成為現(xiàn)代半導(dǎo)體制造過(guò)程中重要工具,滿足行業(yè)對(duì)高質(zhì)量和高效率的需求。

二、設(shè)備用途/原理:

該設(shè)備通過(guò)高強(qiáng)度光源將掩模上的圖案投影到涂有光刻膠的晶圓表面。光源發(fā)出特定波長(zhǎng)的光線,經(jīng)過(guò)高分辨率光學(xué)系統(tǒng),將掩模圖案精確掃描并投影到晶圓上。曝光后,光刻膠的化學(xué)性質(zhì)發(fā)生變化,隨后進(jìn)行顯影,去除未曝光或已曝光的光刻膠,從而形成所需的圖案。接著,采用刻蝕工藝將圖案轉(zhuǎn)移到晶圓材料上,最后去除殘留的光刻膠。這一系列步驟使得 Nikon S205C 能夠高效地實(shí)現(xiàn)復(fù)雜圖形的精確轉(zhuǎn)移,滿足現(xiàn)代半導(dǎo)體制造的高標(biāo)準(zhǔn)要求。

三、主要技術(shù)指標(biāo)

分辨率

0.15µm

N.A.

0.75

曝光光源

248nm

倍率

4:1

大曝光現(xiàn)場(chǎng)

25mm*33mm

對(duì)準(zhǔn)精度

LSA:35nm

FIA:40nm

四、設(shè)備特點(diǎn)

Nikon S205C掃描式光刻機(jī)

光源波長(zhǎng)248nm

分辨率優(yōu)于0.15µm

主要用于8寸及12寸生產(chǎn)線

廣泛應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體、MEMS、LED等域



掃描式光刻機(jī)

Canon FPA5000 ES4掃描式光刻機(jī),光源波長(zhǎng)248nm,分

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