1 產(chǎn)品概述：

   探針臺(tái)是一種精密的電子測(cè)試設(shè)備，主要用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測(cè)試。它集成了載物臺(tái)、光學(xué)元件、卡盤、探針卡、探針夾具及電纜組件等多個(gè)部分，能夠確保從晶圓表面向精密儀器輸送更穩(wěn)定的信號(hào)，從而進(jìn)行高精度的電氣測(cè)量。探針臺(tái)根據(jù)操作方式可分為手動(dòng)、半自動(dòng)和全自動(dòng)三種類型，每種類型都有其特定的應(yīng)用場(chǎng)景和優(yōu)勢(shì)。

2 設(shè)備用途：

探針臺(tái)的主要用途包括：

1. 半導(dǎo)體測(cè)試：在晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測(cè)試環(huán)節(jié)，探針臺(tái)負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位，確保晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測(cè)試，實(shí)現(xiàn)更加精確的數(shù)據(jù)測(cè)試測(cè)量。它廣泛應(yīng)用于晶圓檢測(cè)、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用。

2. 光電行業(yè)測(cè)試：在光電行業(yè)中，探針臺(tái)同樣用于測(cè)試光電元件和組件的性能，確保產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性。

3. 集成電路測(cè)試：探針臺(tái)可用于集成電路的測(cè)試，包括功能測(cè)試、電參數(shù)測(cè)試等，幫助工程師評(píng)估和優(yōu)化集成電路的性能。

4. 封裝測(cè)試：在封裝工藝之前，探針臺(tái)可以對(duì)封裝基板進(jìn)行測(cè)試，確保封裝過(guò)程中不會(huì)出現(xiàn)質(zhì)量問題。

3 設(shè)備特點(diǎn)

探針臺(tái)具有以下顯著特點(diǎn)：

1. 高精度：探針臺(tái)配備高精度的定位系統(tǒng)和微調(diào)機(jī)構(gòu)，能夠精確地將探針定位到芯片上測(cè)試點(diǎn)，并實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的接觸，確保測(cè)試的準(zhǔn)確性和可靠性。

2. 多功能性：探針臺(tái)可用于多種測(cè)試場(chǎng)景，包括晶圓檢測(cè)、芯片研發(fā)、故障分析、網(wǎng)絡(luò)測(cè)量等，具有廣泛的應(yīng)用范圍。

3. 自動(dòng)化程度高：全自動(dòng)探針臺(tái)通常配備有晶圓材料處理搬運(yùn)單元（MHU）、模式識(shí)別（自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)）等功能，能夠自動(dòng)完成測(cè)試序列，減少人工干預(yù)，提高測(cè)試效率。

4. 靈活性：探針臺(tái)可根據(jù)測(cè)試需求進(jìn)行配置和調(diào)整，如可選配接入光纖，將電學(xué)探針替換為光纖，提高測(cè)試靈活性。

4  設(shè)備參數(shù)：

  出色的測(cè)試精度：短 DUT 和 ISP 分離，實(shí)現(xiàn)佳光收集，骰子偏移補(bǔ)償

  通過(guò)熱卡盤支持實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確穩(wěn)定的溫度控制。

  可編程拾取和放置力在5g~200g之間。

 全屏蔽暗盒設(shè)計(jì)消除了不必要的照明干擾。

  具有高引腳數(shù)探測(cè)能力（4 ~ 256 通道）的多站點(diǎn)測(cè)試，可實(shí)現(xiàn)高吞吐量。

  電學(xué)/光學(xué)特性的綜合統(tǒng)計(jì)和分析工具：色度 （xyz）、強(qiáng)度、輻照度。