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批量晶圓處理等離子系統(tǒng)采用模塊化設計，其模塊化控制系統(tǒng)使用最新一代處理器，基于 Linux 平臺作為操作系統(tǒng)，以及圖形用戶界面 (GUI)。因此，可支持手動和全...
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