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深圳市矢量科學儀器有限公司

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步進式光刻機

參  考  價:面議
具體成交價以合同協議為準

產品型號Nikon EX12B

品牌Nikon/日本尼康

廠商性質經銷商

所在地深圳市

更新時間:2024-09-04 15:49:10瀏覽次數:336次

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1、Nikon EX12B步進式光刻機
光源波長248nm
分辨率優(yōu)于0.3µm
主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生產線
廣泛應用于化合物半導體、MEMS、LED等領域
2、產品詳情
主要技術指標
分辨率0.3µm
N.A.0.55
曝光光源248nm
倍率5:1
最大曝光現場22mm*22mm
對準精度
LSA:55nm
FIA:65nm

一、產品概述:

Nikon EX12B 步進式光刻機是一款高精度的半導體制造設備,專為 200mm 晶圓的生產而設計。該機型采用先進的步進光刻技術,能夠實現高分辨率和高精度的圖案轉移,廣泛應用于集成電路(IC)、微處理器和存儲器等電子元件的制造。憑借其良好的成像質量和快速的曝光速度,Nikon EX12B 非常適合大批量生產,同時其用戶友好的操作界面和高效的自動化功能提升了生產效率。這使得 Nikon NSR 2205i14E 成為現代半導體制造過程中的重要工具,滿足行業(yè)對高質量和高效率的需求。

二、設備用途/原理:

該設備利用高強度光源將掩模上的圖案逐步投影到涂有光刻膠的晶圓表面。光源發(fā)出特定波長的光線,通過高分辨率光學系統,將掩模圖案精確地投影到晶圓上進行曝光。曝光后,光刻膠的化學性質發(fā)生變化,接著進行顯影,去除未曝光或已曝光的光刻膠,形成所需的圖案。隨后,利用刻蝕工藝將圖案轉移到晶圓材料上,最后去除殘留的光刻膠。通過這一系列步驟,Nikon SF120/130 能夠高效地實現復雜圖形的精確轉移,滿足現代半導體制造的高標準要求。

三、主要技術指標:

分辨率

0.3µm

N.A.

0.55

曝光光源

248nm

倍率

5:1

大曝光現場

22mm*22mm

對準精度

LSA:55nm

FIA:65nm

四、設備特點

Nikon EX12B步進式光刻機

光源波長248nm

分辨率優(yōu)于0.3µm

主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生產線


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