紫外線臭氧清洗機 UV-300 200 - 300 nm/min的高灰化率。
概要
UV-300H是一款高性能的緊湊型紫外線臭氧清洗機。通過滑動抽屜將基材裝入系統(tǒng)中。紫外線照射、高濃度臭氧和階段性加熱的組合，可溫和而有效地去除硅、玻璃、化合物半導(dǎo)體（GaN、SiC、GaAs、InP）、藍(lán)寶石、陶瓷等各種基材上的有機物。
主要特點和優(yōu)點
大加工尺寸為?300mm（?12英寸）。
200 - 300 nm/min的高灰化率。
加熱階段加快了清洗速度，實現(xiàn)了寬廣的工藝溫度范圍。
通過調(diào)整平臺和石英擴散板之間的間隙，可以提高基板的均勻性。
緊湊，使用小的潔凈室空間
簡單，在大氣壓下操作--不需要真空系統(tǒng)。
柔軟、干燥的工藝不會對基材造成電損傷。
抽屜聯(lián)鎖保證了當(dāng)抽屜打開時系統(tǒng)無法工作。
內(nèi)置臭氧催化劑裝置，可將廢氣中的臭氧濃度降低到安全水平。
應(yīng)用
塑料包裝和引線框架的表面清潔。
復(fù)合半導(dǎo)體(GaN、SiC、GaAs和InP)的表面清洗。
表面改性（潤濕性和附著力的改善
表面氧化(薄氧化層沉積)
光阻劑的灰化、剝離和除塵。
清除有機污染物
紫外線固化
化工儀器網(wǎng)