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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司

當(dāng)前位置：深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司>>其他前道工藝設(shè)備>>6 清洗設(shè)備>> TSC-150C/200CCMP后清洗機(jī)

CMP后清洗機(jī)

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)TSC-150C/200C

品牌特思迪

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地深圳市

更新時(shí)間：2024-09-06 11:22:51瀏覽次數(shù)：352次

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該系列設(shè)備是碳化硅晶圓拋光后的專用清洗設(shè)備，采用連線式結(jié)構(gòu)，設(shè)備加配全自動(dòng)上下片系統(tǒng)。該系列設(shè)備配有漂洗、雙面刷洗、兆聲清洗、N2吹干、高速甩干功能，集成度高，占地面積小，濕進(jìn)干出，適用于碳化硅晶圓拋光后的清洗。


該系列設(shè)備是碳化硅晶圓拋光后的專用清洗設(shè)備，采用連線式結(jié)構(gòu)，設(shè)備加配全自動(dòng)上下片系統(tǒng)。該系列設(shè)備配有漂洗、雙面刷洗、兆聲清洗、N2吹干、高速甩干功能，集成度高，占地面積小，濕進(jìn)干出，適用于碳化硅晶圓拋光后的清洗。

產(chǎn)品特點(diǎn)

全自動(dòng)系統(tǒng)

皮帶傳動(dòng)， cassette in/out 干進(jìn)干出

PLC控制系統(tǒng)

觸摸屏操作

清洗工藝

預(yù)清洗/雙面刷洗/藥液噴霧漂洗 /兆聲噴淋/高速甩干/氮?dú)獯蹈?/span>

刷子類型

PVA 刷, 雙面刷洗

性能參數(shù)

規(guī)格/參數(shù)TSC-150CTSC-200C
工藝雙面刷洗雙面刷洗
清洗工位皮帶傳送式6工位皮帶傳送式6工位
上下片全自動(dòng)全自動(dòng)
晶圓尺寸3-6 inch6-8 inch
上料位浸沒(méi)式浸沒(méi)式
漂洗（預(yù)清洗）DIW沖洗DIW沖洗
刷洗工位*22個(gè)PVA刷，雙面刷洗2個(gè)PVA刷，雙面刷洗
PVA刷轉(zhuǎn)速30-400 RPM30-400 RPM
兆聲清洗可選可選
氮?dú)獯蹈?/td>有有





6/8英寸全自動(dòng)槽式清洗機(jī)

GAMA系列6/8英寸全自動(dòng)槽式清洗機(jī)滿足全部濕法工藝需求，覆蓋RCA

12英寸槽式清洗設(shè)備

12英寸槽式清洗設(shè)備Pinnacle300平臺(tái)適用于集成電路、功率半導(dǎo)

全自動(dòng)硅料清洗機(jī)

主要用于對(duì)硅材料行業(yè)中多晶硅塊進(jìn)行清洗干燥處理

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