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當(dāng)前位置：深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司>>其他前道工藝設(shè)備>>6 清洗設(shè)備>> GNP CEANER-412SCMP后清洗機(jī)
| 參 考 價(jià): | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)GNP CEANER-412S
品牌G&P
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所在地韓國
更新時(shí)間：2024-09-04 16:56:54瀏覽次數(shù)：346次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 化工儀器網(wǎng)1. 產(chǎn)品概述：
GNP CLEANER-412S型CMP后清洗機(jī)集成了兩個(gè)雙刷站，設(shè)計(jì)緊湊，占地面積小，可清洗(4“~12“)晶圓。
適用晶圓尺寸:100mm(4")和300mm(12")
配置:噴淋清洗、單邊刷清洗、旋轉(zhuǎn)漂洗干燥(可選:分離QDR)
清潔器尺寸:1,100W 1,100D 1,650Hmm
電刷尺寸:070(外徑)032(內(nèi)徑)170(長)毫米
刷隙調(diào)節(jié):PLC自動(dòng)控制(可選刷隙范圍:-10mm ~ 2mm)
化學(xué):NH4OH ~ 1%
可用刷型:雙面PVA刷
電刷轉(zhuǎn)速:最高400rpm
旋轉(zhuǎn)速度:手動(dòng)加載與自動(dòng)順序，濕入/干出，最大2,000rpmDIW沖洗/ N2吹
2. 工藝流程
手動(dòng)加載，自動(dòng)順序，濕/干液晶觸摸屏顯示器，程序控制PLC式
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