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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司

快速退火爐RTP

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)customized

品牌UNITEMP/尤尼坦

廠商性質(zhì)經(jīng)銷(xiāo)商

所在地深圳市

更新時(shí)間:2024-09-06 14:21:08瀏覽次數(shù):754次

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快速退火爐RTP主要功能:快速熱退火,快速熱氧化,快速熱氮化,擴(kuò)散,化合物半導(dǎo)體退火,離子注入后退火,電極合金化等。樣片尺寸:8inch,向下兼容,支持不規(guī)整樣品退火。退火溫度范圍:室溫~1200 ℃。4. 室溫到1000度,最快升溫速率120 ℃/second。

1. 產(chǎn)品概述

半導(dǎo)體激光退火機(jī)是用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中的一種設(shè)備。退火是一種熱處理過(guò)程,通過(guò)加熱半導(dǎo)體材料來(lái)改變其性質(zhì),以實(shí)現(xiàn)所需的特性,如電導(dǎo)率、晶體結(jié)構(gòu)和應(yīng)力緩解。半導(dǎo)體激光退火機(jī)利用高能激光束來(lái)對(duì)半導(dǎo)體基片進(jìn)行精確和控制的加熱和修改。

2. 設(shè)備特點(diǎn)

主要功能:快速熱退火,快速熱氧化,快速熱氮化,擴(kuò)散,化合物半導(dǎo)體退火,離子注入后退火,電極合金化等;

樣片尺寸:8inch,向下兼容,支持不規(guī)整樣品退火;

退火溫度范圍:室溫~1200 ℃

室溫到1000度,最快升溫速率120 ℃/second;

全程熱電偶測(cè)溫,不使用高溫計(jì),無(wú)需額外校準(zhǔn);

退火溫度的重復(fù)性、準(zhǔn)確性 ± 1 ℃;

兩路工藝氣體,MFC流量計(jì)控制,流量為0-5NLM

可通入氮?dú)?、氧氣,可以分別通入或者通入混合氣體

可選擇真空退火模式,真空度可達(dá)10^-6hpa;

配置前級(jí)泵,抽速3L/s,極限壓力4*10-2pa;

SPS SIMATIC 軟件控制工藝過(guò)程,可編程序不少于50個(gè),且每個(gè)程序可編程步驟不少于50步。

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