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深圳市矢量科學儀器有限公司

離子注入機

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號customized

品牌ULVAC/日本愛發(fā)科

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地深圳市

更新時間:2024-09-06 14:25:56瀏覽次數(shù):1362次

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離子注入機是高壓小型加速器中的一種,應(yīng)用數(shù)量最多。它是由離子源得到所需要的離子,經(jīng)過加速得到幾百千電子伏能量的離子束流,用做半導(dǎo)體材料、大規(guī)模集成電路和器件的離子注入,還用于金屬材料表面改性和制膜等。

1. 產(chǎn)品概述

離子注入機是高壓小型加速器中的一種,應(yīng)用數(shù)量最多。它是由離子源得到所需要的離子,經(jīng)過加速得到幾百千電子伏能量的離子束流,用做半導(dǎo)體材料、大規(guī)模集成電路和器件的離子注入,還用于金屬材料表面改性和制膜等。

2. 設(shè)備特點

單價離子大加速能量≥200keV,并增加減速系統(tǒng)實現(xiàn)單價離子在5keV~200keV的能量范圍

可用于2、3、4、6、8英寸晶圓以及不規(guī)則碎片

可注入B、P、As、Al、S、H、Mg、Si離子

注入劑量精準度≤1.5%

離子注入劑量范圍:1×1011 at/cm2~1×1016 at/cm2

離子源部分:離子源、離子源氣體系統(tǒng)和離子源引出系統(tǒng)

離子源系統(tǒng)搭載5套從固體蒸發(fā)源產(chǎn)生離子的Vaporizer,溫度達700℃,實現(xiàn)固態(tài)源的離子注入

離子注入傾斜角度在0°和7°

室溫臺:0°和7°;高溫臺:0°

束流調(diào)整系統(tǒng)主要包括:質(zhì)量分析器、束流匯聚系統(tǒng)、加速系統(tǒng)、掃描系統(tǒng)、束流檢測和高壓絕緣變壓器

真空系統(tǒng)主要包括:Ion Source真空系統(tǒng)、Beam Line真空系統(tǒng)、End Station真空系統(tǒng)、真空系統(tǒng)中的真空管件和閥門以及真空檢測單元

真空度:

Ion Source真空度:≤7×10-4Pa

Beam Line真空度:≤7×10-5Pa

End Station真空度:≤7×10-5Pa

SiC用高溫離子注入設(shè)備

SiC用高溫離子注入設(shè)備 IH-860DSIC$r$n$r$n搭載了高

離子注入設(shè)備

研究開發(fā)用中電流離子注入設(shè)備IMX-3500$r$n$r$n中電流離子

離子注入設(shè)備

高能對應(yīng)離子注入設(shè)備SOPHI-400$r$n$r$n可達2400Ke

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