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當前位置：深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司>>半導(dǎo)體前道工藝設(shè)備>>3 CVD>> Satur系列多片式MOCVD系統(tǒng)
| 參 考 價: | 面議 |
產(chǎn)品型號Satur系列
品牌北方華創(chuàng)
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所在地北京市
更新時間：2024-09-06 09:32:47瀏覽次數(shù)：460次
聯(lián)系我時，請告知來自 化工儀器網(wǎng)1. 產(chǎn)品概述
Satur系列 多片式MOCVD系統(tǒng)，優(yōu)異的均勻性、一致性、穩(wěn)定性控制，MOCVD 即金屬有機物化學(xué)氣相沉積，是一種用于生長化合物半導(dǎo)體薄膜的技術(shù)。它通過將Ⅲ族元素的有機化合物和氨氣或氧氣等作為晶體生長源材料，以熱分解反應(yīng)方式在襯底上進行氣相外延，生長各種化合物半導(dǎo)體以及它們的多元固溶體的薄層單晶材料。
2. 設(shè)備用途/原理
Satur系列 多片式MOCVD系統(tǒng)，優(yōu)異的均勻性、一致性、穩(wěn)定性控制，盒對盒全自動傳輸系統(tǒng)，優(yōu)良的實時監(jiān)控系統(tǒng)，友好界面與配方編輯功能，滿足 SEMI S2 安全標準。
3. 設(shè)備特點
晶圓尺寸 4、6、8 英寸，沉積材料 氮化鎵、砷化鎵、磷化銦。適用材料 硅、碳化硅、氧化鋁、砷化鎵、磷化銦。適用領(lǐng)域 科研、集成電路、化合物半導(dǎo)體。
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