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高密度 刻蝕機(jī)

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號GDE C200系列

品牌北方華創(chuàng)

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地北京市

更新時(shí)間:2024-09-05 17:13:09瀏覽次數(shù):783次

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GDE C200系列 高密度 刻蝕機(jī),等離子體源和頻率設(shè)計(jì),等離子體密度高,適用于強(qiáng)鍵合材料刻蝕。

1. 產(chǎn)品概述

GDE C200系列 高密度刻蝕機(jī),等離子體源和頻率設(shè)計(jì),等離子體密度高,適用于強(qiáng)鍵合材料刻蝕。

2. 設(shè)備用途/原理

GDE C200系列 高密度刻蝕機(jī),等離子體源和頻率設(shè)計(jì),等離子體密度高,適用于強(qiáng)鍵合材料刻蝕。刻蝕速率、刻蝕均勻性、PM 周期。應(yīng)用域廣泛,包括功率器件、濾波、射頻和光電等域的多種材料刻蝕。工藝種類多樣,包括碳化硅刻蝕、鋁鈧氮刻蝕、PZT 刻蝕、砷化鎵刻蝕、鈮酸鋰刻蝕、氮化硅刻蝕、 磷化銦刻蝕靈活的系統(tǒng)配置,適合研發(fā)、中試線、大規(guī)模生產(chǎn)線的不同應(yīng)用適配多種終點(diǎn)檢測方法。

3. 設(shè)備特點(diǎn)

晶圓尺寸 8 英寸及以下,適用材料 碳化硅、氮化硅、鋁鈧氮、鉬、鋁氮、鋯鈦酸鉛、砷化鎵、磷化銦、鈮酸鋰、介質(zhì)。適用工藝 碳化硅通孔刻蝕、碳化硅柵槽刻蝕、鉬-鋁氮/鋁鈧氮刻蝕、砷化鎵背孔工藝、 光波導(dǎo)工藝等多種材料刻蝕工藝適用域 新興應(yīng)用、集成電路、化合物半導(dǎo)體、科研

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