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產品型號WE2102系列
品牌北方華創(chuàng)
廠商性質經(jīng)銷商
所在地北京市
更新時間：2024-09-05 14:29:19瀏覽次數(shù)：496次
聯(lián)系我時，請告知來自 化工儀器網(wǎng)1. 產品概述
WE2102系列 8英寸槽式清洗設備，該平臺工藝區(qū)為 12 吋優(yōu)良槽式清洗設備的拓展，具備優(yōu)異的工藝效果。
2. 設備用途/原理
該平臺工藝區(qū)為 12 吋優(yōu)良槽式清洗設備的拓展，具備優(yōu)異的工藝效果。精準控制藥液混合比例。多樣的藥液比例擴展應用。精準的蝕刻速率控制。優(yōu)秀的干燥效果。軟件量身定制，具備快速更新能力。
3. 設備特點
晶圓尺寸 8 英寸，適用材料 光阻、單晶硅、氧化硅、氮化硅、介質膜、金屬膜、氮化鈦、硅化物。適用工藝 預清洗、去膠清洗、氮化硅去除、金屬去除（Co,Ti）、Recycle 清洗。適用域 集成電路、化合物半導體、新興應用。
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| 評價時間 | 類別 | 詳細內容 | 評價者 | IP地址 |
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