您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng)！ 登錄| 免費(fèi)注冊(cè)| 產(chǎn)品展廳| 收藏商鋪|
當(dāng)前位置：深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司>>半導(dǎo)體前道工藝設(shè)備>>5 刻蝕設(shè)備>> ELEDE® 380系列芯片刻蝕機(jī)
| 參 考 價(jià): | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)ELEDE® 380系列
品牌北方華創(chuàng)
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所在地北京市
更新時(shí)間：2024-09-05 14:26:03瀏覽次數(shù)：503次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 化工儀器網(wǎng)1. 產(chǎn)品概述
ELEDE® 380系列 芯片刻蝕機(jī)，優(yōu)良的等離子體發(fā)生裝置，適用多種材料刻蝕，工藝窗口寬。
2. 設(shè)備用途/原理
優(yōu)良的等離子體發(fā)生裝置，適用多種材料刻蝕，工藝窗口寬。多片式托盤，實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)能，同時(shí)確保優(yōu)異的刻蝕均勻性。全路徑全真空，全自動(dòng)晶圓傳輸，顆?？刂苾?yōu)。工藝套件設(shè)計(jì)，更長的耗材壽命。
3. 設(shè)備特點(diǎn)
晶圓尺寸4、6 英寸及特殊尺寸。適用材料 藍(lán)寶石、氮化鎵、氧化硅 / 氧化鈦、砷化鎵、磷化鎵、鋁鎵銦磷、氧化硅、氮化硅、鈦鎢、有機(jī)物。適用工藝 PSS 刻蝕、電刻蝕、深槽隔離刻蝕、介質(zhì)反射層（DBR）刻蝕、紅黃光刻蝕、鈍化層刻蝕、金屬阻擋層刻蝕。適用域化合物半導(dǎo)體。
 |
 |
 |
請(qǐng)輸入賬號(hào)
請(qǐng)輸入密碼
請(qǐng)輸驗(yàn)證碼
以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé)，化工儀器網(wǎng)對(duì)此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。
溫馨提示：為規(guī)避購買風(fēng)險(xiǎn)，建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。
| 評(píng)價(jià)時(shí)間 | 類別 | 詳細(xì)內(nèi)容 | 評(píng)價(jià)者 | IP地址 |
化工儀器網(wǎng)