您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng)！ 登錄| 免費注冊| 產(chǎn)品展廳| 收藏商鋪|
當前位置：深圳市矢量科學儀器有限公司>>半導體前道工藝設備>>5 刻蝕設備>> RIE-200CRIE等離子刻蝕設備
| 參 考 價: | 面議 |
產(chǎn)品型號RIE-200C
品牌SAMCO
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所在地國外
更新時間：2024-09-06 15:14:14瀏覽次數(shù)：363次
聯(lián)系我時，請告知來自 化工儀器網(wǎng)1. 產(chǎn)品概述
RIE-200C是在擁有豐富交貨業(yè)績的CCP RIE系統(tǒng) "RIE-10NR "的基礎上開發(fā)的量產(chǎn)型盒式裝載系統(tǒng)。該系統(tǒng)可對Si、Poly-Si、SiO?、SiN等各種硅薄膜進行高精度蝕刻和灰化。采用雙盒雙臂機械手，PLC控制全自動操作，高性能存儲工藝參數(shù)，實現(xiàn)了高產(chǎn)量。
2. 設備用途/原理
Si、Poly-Si、SiO?、SiN等各種硅薄膜的高精度蝕刻。光阻劑的灰化、剝離、除塵，清除有機污染物。
3. 設備特點
大氣高速傳輸系統(tǒng)，該系統(tǒng)配備了一個大氣盒室和一個大氣傳輸機器人，而不是通常的裝載鎖定室。它可以處理大?8 "晶圓的自動加工，并且可以安裝在兩個盒式箱中。全自動操作，通過觸摸屏可實現(xiàn)全自動操作，通過PLC控制可實現(xiàn)過程管理和數(shù)據(jù)記錄。
 |
 |
 |
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗證碼
以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實性、準確性和合法性由相關企業(yè)負責，化工儀器網(wǎng)對此不承擔任何保證責任。
溫馨提示：為規(guī)避購買風險，建議您在購買產(chǎn)品前務必確認供應商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。
| 評價時間 | 類別 | 詳細內(nèi)容 | 評價者 | IP地址 |
化工儀器網(wǎng)