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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司

干法刻蝕裝置

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)NLD-5700

品牌ULVAC/日本愛(ài)發(fā)科

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地國(guó)外

更新時(shí)間:2024-09-06 09:54:46瀏覽次數(shù):567次

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對(duì)應(yīng)光學(xué)器件、MEMS制造的干法刻蝕裝置NLD-5700

對(duì)應(yīng)光學(xué)器件、MEMS制造的干法刻蝕裝置NLD-5700是搭載了磁性中性線(NLD- neutral loop discharge)等離子源的量產(chǎn)用干法刻蝕裝置。(可實(shí)現(xiàn)產(chǎn)生低壓、低電子溫度、高密度的等離子)

1 產(chǎn)品概述:

      干法刻蝕是一種利用物理或物理與化學(xué)相結(jié)合的方法,通過(guò)高能氣體分子或離子束轟擊固體表面,使材料發(fā)生化學(xué)反應(yīng)或物理濺射,從而去除不需要的部分,實(shí)現(xiàn)高精度的加工過(guò)程。干法刻蝕在半導(dǎo)體制造、微納加工、光學(xué)加工等領(lǐng)域具有廣泛應(yīng)用,是芯片制造中的關(guān)鍵技術(shù)之一。

2 設(shè)備用途:

干法刻蝕設(shè)備主要用于以下領(lǐng)域:

  1. 半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體芯片制造過(guò)程中,干法刻蝕被用于去除硅片表面的多余材料,形成精確的電路圖形。這是半導(dǎo)體制造工藝中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)之一,直接影響芯片的性能和良率。

  2. 微納加工:干法刻蝕機(jī)在微納加工中扮演著重要角色,能夠制作出微米和納米級(jí)別的精細(xì)結(jié)構(gòu),如微型天線、納米光子晶體、微結(jié)構(gòu)電極等。

  3. 光學(xué)加工:在光學(xué)領(lǐng)域,干法刻蝕機(jī)被用于制作高精度、高質(zhì)量的光學(xué)元件,如微型透鏡、激光反射面、偏振器件、光通訊器件等。

3 設(shè)備特點(diǎn)

干法刻蝕設(shè)備具有以下特點(diǎn):

  1. 高精度:干法刻蝕能夠?qū)崿F(xiàn)微米甚至納米級(jí)別的加工精度,滿足高精度加工的需求。

  2. 高選擇比:干法刻蝕在刻蝕過(guò)程中能夠精確控制不同材料的刻蝕速率,實(shí)現(xiàn)高選擇比刻蝕,減少對(duì)其他材料的損傷。

  3. 各向異性好:干法刻蝕技術(shù)能夠產(chǎn)生垂直度高的側(cè)壁,有利于形成精確的圖形結(jié)構(gòu)。

  4. 刻蝕損傷?。合啾葷穹涛g,干法刻蝕在刻蝕過(guò)程中產(chǎn)生的損傷較小,有利于保護(hù)底層材料。


4
技術(shù)參數(shù)和特點(diǎn):

對(duì)應(yīng)光學(xué)器件、MEMS制造的干法刻蝕裝置NLD-5700

對(duì)應(yīng)光學(xué)器件、MEMS制造的干法刻蝕裝置NLD-5700是搭載了磁性中性線(NLD- neutral loop discharge)等離子源的量產(chǎn)用干法刻蝕裝置。(可實(shí)現(xiàn)產(chǎn)生低壓、低電子溫度、高密度的等離子)

產(chǎn)品特性

在潔凈房?jī)?nèi)作業(yè)可擴(kuò)張為雙腔。(可選配腔室:NLD、有磁場(chǎng)ICP、CCP或者去膠室),為時(shí)間空間可控的等離子,因此設(shè)備干法清潔容易。

腔體維護(hù)簡(jiǎn)便。從掩??涛g到石英、玻璃刻蝕,可提供各類工藝解決方案。門的半導(dǎo)體技術(shù)研究所會(huì)提供完備的工藝支持體制。


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