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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司

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高真空熱阻蒸發(fā)薄膜沉積系統(tǒng)

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)DZ450

品牌沈陽科儀

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地沈陽市

更新時(shí)間:2024-09-05 15:50:43瀏覽次數(shù):273次

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高真空熱阻蒸發(fā)薄膜沉積系統(tǒng)主要由有機(jī)/金屬源蒸發(fā)沉積室、真空排氣系統(tǒng);真空測(cè)量系統(tǒng);蒸發(fā)源;樣品加熱控溫;電控系統(tǒng);配氣系統(tǒng)等部分組成。該系統(tǒng)可與手套箱對(duì)接。熱蒸發(fā)是指把待鍍膜的基片或工件置于真空室內(nèi),通過對(duì)鍍膜材料加熱使其蒸發(fā)氣化而沉積于基體或工件表面并形成薄膜或涂層的工藝過程??稍诟哒婵障抡舭l(fā)高質(zhì)量的不同厚度的金屬薄膜,廣泛應(yīng)用于物理,生物,化學(xué),材料,電子等領(lǐng)域。

1.產(chǎn)品概述:

該設(shè)備主要由有機(jī)/金屬源蒸發(fā)沉積室、真空排氣系統(tǒng);真空測(cè)量系統(tǒng);蒸發(fā)源;樣品加熱控溫;電控系統(tǒng);配氣系統(tǒng)等部分組成。該系統(tǒng)可與手套箱對(duì)接。

2.設(shè)備用途:

熱蒸發(fā)是指把待鍍膜的基片或工件置于真空室內(nèi),通過對(duì)鍍膜材料加熱使其蒸發(fā)氣化而沉積于基體或工件表面并形成薄膜或涂層的工藝過程??稍诟哒婵障抡舭l(fā)高質(zhì)量的不同厚度的金屬薄膜,廣泛應(yīng)用于物理,生物,化學(xué),材料,電子等域。蒸鍍薄膜種類:Au, Cr, Ag, Al, Cu, In,有機(jī)物等。

3.真空室:

真空室結(jié)構(gòu):方形開門

真空室尺寸:400×400×450mm

限真空度:≤6.0E-5Pa

沉積源:3個(gè)鎢舟、2個(gè)有機(jī)源

樣品尺寸,溫度:4寸,1片,高800℃

占地面積(長x寬x高):約2.5米×1.2米×1.8米

電控描述:全自動(dòng)

工藝:片內(nèi)膜厚均勻性:≤±5%








濺射系統(tǒng)

iTops PVD AlN 濺射系統(tǒng),采用托盤形式,可兼容 2/4/6

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