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深圳市矢量科學儀器有限公司

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化合物半導體沉積系統(tǒng)

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號CCS系統(tǒng)

品牌愛思強

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地德國

更新時間:2024-09-05 14:46:40瀏覽次數(shù):297次

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化合物半導體沉積系統(tǒng)

用于研發(fā)的封閉耦合淋浴噴頭® CCS系統(tǒng)
“用于研發(fā)和小規(guī)模生產(chǎn)的靈活MOCVD系統(tǒng)"

1 產(chǎn)品概述:

      化合物半導體沉積系統(tǒng)是一類專門用于制備化合物半導體材料的設(shè)備,這些材料通常由兩種或多種元素組成,如GaAsGaNSiC等。這些材料因其高功率、高頻率等特性,在信息通信、光電應用以及新能源汽車等產(chǎn)業(yè)中占據(jù)重要地位。

2 設(shè)備用途:

化合物半導體沉積系統(tǒng)的主要用途包括:

  1. 晶圓制備:通過外延生長技術(shù),在襯底上沉積高質(zhì)量的化合物半導體薄膜,用于制造高性能的半導體器件。

  2. 芯片設(shè)計與制造:支持化合物半導體器件的設(shè)計與制造過程,包括射頻功率放大器、高壓開關(guān)器件等。

  3. 光電器件:用于制造太陽電池、半導體照明、激光器和探測器等光電器件。

  4. 微波射頻:在移動通信、導航設(shè)備、雷達電子對抗以及空間通信等系統(tǒng)中,化合物半導體沉積系統(tǒng)用于制造射頻功率放大器等核心組件。

3. 設(shè)備特點

化合物半導體沉積系統(tǒng)通常具備以下特點:

  1. 高精度與均勻性:

      沉積均勻性:能夠?qū)崿F(xiàn)晶圓級的高沉積均勻性,確保薄膜厚度和質(zhì)量的一致性。

      精確控制:通過調(diào)節(jié)沉積參數(shù),如溫度、壓力、氣體流量等,可以精確控制薄膜的化學成分、形貌、晶體結(jié)構(gòu)和晶粒度。

  1. 多功能性:

      多種沉積方法:支持化學氣相沉積(CVD)、物理氣相沉積(PVD)等多種沉積方法,滿足不同材料和器件的制備需求。

      多種薄膜材料:能夠沉積金屬薄膜、非金屬薄膜、多組分合金薄膜以及陶瓷或化合物層等多種薄膜材料。

  1. 高溫與低溫兼容性:

      高溫沉積:部分設(shè)備能夠在高溫下工作,確保薄膜的結(jié)晶質(zhì)量和純度。

      低溫輔助:采用等離子或激光輔助技術(shù),可以降低沉積溫度,保護基體材料不受高溫損傷。

  1. 高效與自動化:

      高吞吐量:通過優(yōu)化設(shè)計和自動化控制,提高生產(chǎn)效率,降低生產(chǎn)成本

設(shè)備參數(shù):

·         晶圓尺寸配置包括 3x2 英寸、6x2 英寸、19x2 英寸等多種規(guī)格。

·         具有動態(tài)工藝間隙調(diào)整功能,高工作溫度可達 1400°C(部分型號)

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