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| 參 考 價: | 面議 |
產(chǎn)品型號Haasrode® Avior® A
品牌魯汶
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所在地徐州市
更新時間：2024-09-04 15:45:18瀏覽次數(shù)：466次
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1. 產(chǎn)品概述：
CCP腔室適用于制造微納結(jié)構(gòu)的等離子刻蝕技術(shù)。在反應(yīng)離子刻蝕過程中，等離子體中會包含大量的活性粒子，與表面原子產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)，生成可揮發(fā)產(chǎn)物后，隨真空抽氣系統(tǒng)排出。魯汶儀器的 Haasrode® Avior® A 在性價比和空間利用率上優(yōu)點突出，可提供各種不同材料的刻蝕解決方案。
單腔室電容耦合等離子體（CCP）機適用于光刻膠殘膠去除（打底膜）、介質(zhì)刻蝕等工藝可用于6英寸及以下晶圓
2. 系統(tǒng)特性
單腔室電容耦合等離子體（CCP）機臺
適用于光刻膠殘膠去除（打底膜）、介質(zhì)刻蝕等工藝
可用于6英寸及以下晶圓
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