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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司

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原子層沉積ALD

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)Beneq TFS 200/500

品牌Beneq

廠商性質(zhì)經(jīng)銷(xiāo)商

所在地芬蘭

更新時(shí)間:2024-09-05 14:29:26瀏覽次數(shù):470次

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價(jià)格區(qū)間 面議 應(yīng)用領(lǐng)域 能源,電子/電池,電氣,綜合
Beneq TFS 200 是有史以來(lái)最靈活的原子層沉積研究平臺(tái),專(zhuān)為學(xué)術(shù)研究和企業(yè)研發(fā)而設(shè)計(jì)。Beneq TFS 200 經(jīng)過(guò)專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì),可最大限度地減少多用戶(hù)研究環(huán)境中可能發(fā)生的任何交叉污染。
TFS 500 是薄膜鍍膜應(yīng)用的理想選擇。作為第一個(gè) Beneq 反應(yīng)器模型,已被證明是用于深入研究原子層沉積研究和穩(wěn)健批處理的多功能工具。TFS 500 是多項(xiàng)目環(huán)境的理想工具。

 

1.產(chǎn)品概述:

TFS 200 是一款適用于科學(xué)研究和企業(yè)研發(fā)的靈活的 ALD 平臺(tái)。 TFS 200 是為多用戶(hù)研究環(huán)境中將可能發(fā)生的交叉污染降至低而特別設(shè)計(jì)的。

TFS 200 不僅可以在晶圓,平面物體上鍍膜,還適用于粉末,顆粒,多孔的基底材料,或是有高深徑比的3D物體內(nèi)沉積高保形薄膜。                      

直接和遠(yuǎn)程等離子體沉積 (PEALD) 可作為 TFS 200 的標(biāo)準(zhǔn)選項(xiàng)。等離子體是電容性耦合(CCP),這是當(dāng)?shù)墓I(yè)標(biāo)準(zhǔn)。等離子體選件可為直徑200毫米的基板(面朝上或面朝下)提供直接和遠(yuǎn)程等離子體增強(qiáng)沉積 (PEALD)

2.設(shè)備用途/原理:

設(shè)備用途

原子層沉積(ALD)設(shè)備主要用于半導(dǎo)體制造、光電子、納米技術(shù)和材料科學(xué)等領(lǐng)域。它廣泛應(yīng)用于制造高性能電子器件、光電材料、薄膜電池、傳感器和催化劑等,能夠在復(fù)雜結(jié)構(gòu)上沉積均勻且高質(zhì)量的薄膜。

工作原理

ALD 設(shè)備通過(guò)交替引入兩種或多種氣相前驅(qū)體和反應(yīng)氣體,以原子層的方式在基材表面沉積薄膜。每個(gè)前驅(qū)體分子在基材表面吸附并反應(yīng),形成一層薄膜,然后多余的前驅(qū)體和反應(yīng)產(chǎn)物被清除,接著引入下一種氣體。這個(gè)過(guò)程持續(xù)進(jìn)行,直到達(dá)到所需的薄膜厚度。由于每一層的沉積都受到嚴(yán)格控制,ALD 技術(shù)能實(shí)現(xiàn)極薄膜層的精確沉積,通常在納米級(jí)別,確保薄膜的均勻性和致密性。

3.主要技術(shù)指標(biāo):

循環(huán)周期小于2。在特定的條件下可以小于1。

高深徑比(HAR)選項(xiàng)適用于通孔和多孔的基底材料。

可快速加熱和冷卻的冷壁真空反應(yīng)腔。

安裝在真空反應(yīng)腔的輔助接口可實(shí)現(xiàn)等離子體和在線(xiàn)診斷等。

加載鎖可用于快速更換基底材料并與其他設(shè)備集成。


部件鍍膜設(shè)備

部件鍍膜設(shè)備實(shí)現(xiàn)高大量生產(chǎn)率的高真空基礎(chǔ)In-line Sputter

薄膜沉積鍍膜系統(tǒng)

薄膜沉積鍍膜系統(tǒng)Automotive Lamp Reflector是為

原子層沉積ALD

Kurt J. Lesker Company (KJLC) ALD15

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