NANO 36™
經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的緊湊型濺射或熱蒸發(fā)薄膜沉積系統(tǒng)
Kurt J. Lesker Company® NANO 36™ 是我們優(yōu)化的入門級沉積系統(tǒng)。我們的腔室設(shè)計(jì)特別適合手套箱集成。NANO 36 具有更高的功能和更小的占地面積，提供了實(shí)惠的價(jià)格點(diǎn)，同時(shí)保持了您期望從 KJLC 獲得的質(zhì)量。
NANO 36 與以下沉積技術(shù)兼容：
熱蒸發(fā)（最多四個(gè) 2 英寸船組件）。
Torus® 磁控濺射源（最多三個(gè) 2“ 或 3" 源）。
1cc 或 10cc LTE 有機(jī)沉積源（最多四個(gè)）。
兩個(gè)熱源和兩個(gè) LTE 源的組合。
可根據(jù)要求提供定制配置。
KJLC的軟件允許用戶友好的配方創(chuàng)建，以及一個(gè)可靠、不間斷的處理模塊，無論計(jì)算機(jī)用戶界面的狀態(tài)如何，都可以完成過程。有關(guān)此直觀、且可靠的軟件包的更多信息，請參閱“軟件"選項(xiàng)卡。
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