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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司

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多功能濺射、電子束和熱蒸發(fā)沉積平臺

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號PRO Line PVD 75

品牌KURT.J.LESKER

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地深圳市

更新時(shí)間:2024-08-14 16:39:14瀏覽次數(shù):913次

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Kurt J. Lesker Company PRO Line PVD 75 是基于主力 PVD 75多功能濺射、電子束和熱蒸發(fā)沉積平臺的下一代薄膜沉積系統(tǒng)。PVD 75 在全球擁有 400 多臺設(shè)備,是一款久經(jīng)考驗(yàn)、堅(jiān)固耐用且用途廣泛的設(shè)計(jì)。PRO Line PVD 75 建立在原始設(shè)計(jì)的成功基礎(chǔ)上,改進(jìn)了系統(tǒng)基礎(chǔ)壓力和抽空時(shí)間。技術(shù)的腔室設(shè)計(jì)、具有高級編程功能的行業(yè)最佳軟件控制系統(tǒng)、自動(dòng)

PRO Line PVD 75
多功能濺射、電子束和熱蒸發(fā)沉積平臺

Kurt J. Lesker Company PRO Line PVD 75 是基于主力 PVD 75 平臺的下一代薄膜沉積系統(tǒng)。PVD 75 在全球擁有 400 多臺設(shè)備,是一款久經(jīng)考驗(yàn)、堅(jiān)固耐用且用途廣泛的設(shè)計(jì)。PRO Line PVD 75 建立在原始設(shè)計(jì)的成功基礎(chǔ)上,改進(jìn)了系統(tǒng)基礎(chǔ)壓力和抽空時(shí)間。技術(shù)的腔室設(shè)計(jì)、具有高級編程功能的行業(yè)最佳軟件控制系統(tǒng)、自動(dòng)基板加載以及用于優(yōu)化薄膜性能的眾多功能是這種創(chuàng)新的設(shè)計(jì)提供的一些關(guān)鍵優(yōu)勢。®

規(guī)格

箱形304L不銹鋼腔體

內(nèi)部尺寸:
15.25“ 寬 x 16.50" 深 x 24“ 高
(387.4mm x 419.1mm x 609.6mm)

鋁,O 形圈密封,鉸鏈,前檢修門


沉積技術(shù)

熱蒸發(fā)

最多四艘 4 英寸的單艘船,或六艘 2 英寸的船組件


TORUS 磁控濺射源

多達(dá) 6 個(gè) 2 英寸或 3 英寸光源

多達(dá) 4 個(gè) 4 英寸信號源


電子束蒸發(fā)源

4 口袋 8cc

8 口袋 12cc

6 口袋 20cc


LTE10 有機(jī)沉積源

最多兩個(gè) 10cc 源


沉積方向

熱蒸發(fā)

向上


TORUS 磁控濺射源

向上、向下或側(cè)濺射


電子束蒸發(fā)

向上


LTE有機(jī)沉積

向上


底物操作

旋轉(zhuǎn)、加熱、冷卻、偏置、負(fù)載鎖定兼容


電源

DC、PDC、RF、MF 和 HIPIMS 電源


濺射系統(tǒng)

iTops PVD AlN 濺射系統(tǒng),采用托盤形式,可兼容 2/4/6

卷對卷薄膜濺射系統(tǒng)

卷對卷薄膜濺射系統(tǒng)裝置在真空狀態(tài)中對PET Film,以ITO或Met

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