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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司

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化學(xué)機(jī)械磨拋機(jī)

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)SL-1023

品牌矢量科學(xué)

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地深圳市

更新時(shí)間:2024-09-05 09:27:34瀏覽次數(shù):623次

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產(chǎn)地類別 國(guó)產(chǎn) 價(jià)格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 文體,綜合
SL-1023化學(xué)機(jī)械磨拋機(jī),適用于 CMP 平坦化和平滑化工藝技術(shù), 整機(jī)研磨部分采用防腐材料,耐化學(xué)腐
蝕,配置自動(dòng)滴料器和精密磨拋控制儀,全自動(dòng)觸摸屏面板,從加工性能和速度上同時(shí)滿足晶圓等面型加工的需求。

一、產(chǎn)品概述:

SL-1023化學(xué)機(jī)械磨拋機(jī),適用于 CMP 平坦化和平滑化工藝技術(shù), 整機(jī)研磨部分采用防腐材料,耐化學(xué)腐蝕,配置自動(dòng)滴料器和精密磨拋控制儀,全自動(dòng)觸摸屏面板,從加工性能和速度上同時(shí)滿足晶圓等面型加工的需求。

二、設(shè)備特點(diǎn)

·超平不銹鋼拋光盤(平面度為每 25mm×25mm 小于 0.0025mm)。

·超精旋轉(zhuǎn)軸(托盤端跳小于 0.01mm)。 ·設(shè)有兩個(gè)加工工位,可分別進(jìn)行控制。

·配有全自動(dòng)控制觸摸屏面板,可設(shè)置主軸轉(zhuǎn)速、擺臂速度、磨拋時(shí)間。 ·配置自動(dòng)滴料器,流量速率可視化調(diào)整, 自動(dòng)研磨和拋光。

·配置 GPC-100A 精密磨拋控制儀,可調(diào)節(jié)壓力,修整面型,使磨拋更加方便快捷。 ·研磨部分采用防腐材料,耐化學(xué)腐蝕。

三、主要技術(shù)指標(biāo):

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下,溫度 25℃±15℃ , 濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水:設(shè)備配有上水口及下水口,需自行連接自來(lái)水及下排水

2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地

3、氣:無(wú)

4、工作臺(tái):尺寸 800mm×600mm×700mm,承重 200kg 以上

5、通風(fēng)裝置:不需要

主要參數(shù)

主機(jī)部分

GPC-100A 精密磨拋控制儀

自動(dòng)滴料器

1、電源:220V

2、功率:450W

3、磨拋盤轉(zhuǎn)速:10-240rpm

4、磨拋工位:2 個(gè)

5、擺臂調(diào)節(jié)檔位:1-15 檔

6、托盤端跳:0.008/250mm

7、不銹鋼磨拋盤: φ300mm

8、載樣盤 : φ 105mm

9、修盤環(huán) : φ 127.5mm

 

1、載樣盤直徑:?103mm

2、載樣盤軸向行程:12mm

3、數(shù)顯表精度:0.001mm

4、載樣盤可調(diào)加載壓力: 0.1kg-2.1kg

5、壓力確認(rèn)儀有效量程: 1g-5000g

6、樣品裝卡方式:真空吸附

7、承載樣件尺寸:

直徑≤103mm、厚度≤12mm

8、尺寸:外徑 146mm,高 266mm

 

SKZD-2 滾筒滴料器

1、容積:1.5L

2、流量:0-35ml/min

3、尺寸:170×290×350mm; 重量:3kg

SKZD-4 自動(dòng)滴料器

1、加液泵:4 個(gè)

2、料液瓶:600ml/瓶

3、計(jì)時(shí)范圍:1-999min

4、流量:0.1ml/min-10ml/min

5、尺寸:230×370×450mm; 重量:10kg

 

產(chǎn)品規(guī)格:

·尺寸:550mm×700mm×420mm ·重量:74Kg

 


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