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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司

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離子束沉積

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)Ionfab 300 IBD

品牌OXFORD/英國(guó)牛津

廠(chǎng)商性質(zhì)經(jīng)銷(xiāo)商

所在地深圳市

更新時(shí)間：2024-08-12 10:12:56瀏覽次數(shù)：327次

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離子束沉積產(chǎn)品是因?yàn)樗鼈兡軌蛏a(chǎn)具有高質(zhì)量，致密和表面光滑的沉積薄膜。離子束技術(shù)提供了一種多樣的刻蝕和沉積的方法，并可在同一設(shè)備上實(shí)現(xiàn)， 因而提高系統(tǒng)的利用率。我們的設(shè)備具有靈活的硬件選項(xiàng)，包括直開(kāi)式、單襯底傳送模式和盒式對(duì)盒式模式。系統(tǒng)規(guī)格與實(shí)際應(yīng)用緊密協(xié)調(diào)，以確保獲得速率更快且重復(fù)性更好的工藝結(jié)果。

  • 多模式功能

  • 能夠與其它等離子體刻蝕和沉積設(shè)備相集成

  • 單晶圓傳送模式或集群式晶圓操作

  • 雙束流配置

  • 更低的表面薄膜粗糙度

  • 更佳的批次均勻性和工藝重復(fù)性

  • 準(zhǔn)確終點(diǎn)監(jiān)測(cè) —— SIMS，發(fā)射光譜

    產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 質(zhì)量薄膜高 ——超低污染

  • 產(chǎn)量高，緊湊的系統(tǒng)體積設(shè)計(jì)-——運(yùn)行成本低

  • 高速襯底架（高達(dá)1000RPM）設(shè)計(jì)，并配備了白光光學(xué)監(jiān)視器（WLOM）——更為精確的實(shí)時(shí)光學(xué)薄膜控制

  • 配置靈活 ——適于先進(jìn)的研究應(yīng)用

  • 靈活的晶圓操作方式 —— 直開(kāi)式、單晶圓傳送模式或者帶機(jī)械手臂的盒對(duì)盒模式

    應(yīng)用

  • 磁阻式隨機(jī)存取存儲(chǔ)器（MRAM）

  • 介電薄膜

  • III-V族光電子材料刻蝕

  • 自旋電子學(xué)

  • 金屬電極和軌道

  • 超導(dǎo)體

  • 激光端面鍍膜

  • 高反射（HR）膜

  • 防反射（AR）膜

  • 環(huán)形激光陀螺反射鏡

  • X射線(xiàn)光學(xué)系統(tǒng)

  • 紅外（IR）傳感器

  • II-VI族材料

  • 通信濾波器




濺射系統(tǒng)

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