當前位置：深圳市矢量科學儀器有限公司>>半導體前道工藝設備>>3 CVD>> PlasmaPro 100 Nano等離子增強化學氣相沉積
| 參 考 價: | 面議 |
產品型號PlasmaPro 100 Nano
品牌OXFORD/英國牛津
廠商性質經(jīng)銷商
所在地深圳市
更新時間：2024-08-12 11:13:24瀏覽次數(shù)：267次
聯(lián)系我時，請告知來自 化工儀器網(wǎng)更佳的均勻性以及靈活的溫度范圍， 最高可達1200°C
700°C、800°C或1200°C工作臺可供選擇
樣品尺寸可達200mm
真空傳送腔——快速更換樣品
冷壁設計并輔以可均勻輸送氣體/液體源前驅體的噴頭
可選的液體/固體源前驅體輸送系統(tǒng)，用于生長MOS2、MOSe2和其它TMDCs材料
應用：
二維材料 生長
MoS2 生長
石墨烯 生長
一維材料 生長
碳納米管（CNT）生長
氣柜 —— 包含額外的氣體管線，提供更大的靈活性
渦輪分子真空泵 —— 提供泵送速度加快氣體的流動速度
光學終點探測—— 實現(xiàn)更好工藝結果的重要工具
TEOS液位傳感 —— 使用安裝在TEOS罐上的超聲波液位傳感器實現(xiàn)液位傳感
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