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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司

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原子層沉積

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號Beneq 轉(zhuǎn)換

品牌Beneq

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地深圳市

更新時間:2024-09-05 15:03:31瀏覽次數(shù):349次

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價(jià)格區(qū)間 面議 應(yīng)用領(lǐng)域 能源,電子
Beneq Transform在其多功能性和適應(yīng)性方面建立了全新的ALD集群工具產(chǎn)品,以滿足廣泛的應(yīng)用和細(xì)分市場的需求。Beneq Transform 配置多個 ALD 工藝模塊,以滿足特定的晶圓容量要求,或者在以后進(jìn)行升級,以響應(yīng)不斷增長的數(shù)量或新的 ALD 應(yīng)用

1.產(chǎn)品概述:

Beneq Transform在其多功能性和適應(yīng)性方面建立了全新的ALD集群工具產(chǎn)品,以滿足廣泛的應(yīng)用和細(xì)分市場的需求。Beneq Transform 配置多個 ALD 工藝模塊,以滿足特定的晶圓容量要求,或者在以后進(jìn)行升,以響應(yīng)不斷增長的數(shù)量或新的 ALD 應(yīng)用。

2.產(chǎn)品優(yōu)勢:

一個平臺,多種配置Beneq Transform在其多功能性和適應(yīng)性方面建立了全新的ALD集群工具產(chǎn)品,以滿足廣泛的應(yīng)用和細(xì)分市場的需求。Beneq Transform 配置多個 ALD 工藝模塊,以滿足特定的晶圓容量要求,或者在以后進(jìn)行升,以響應(yīng)不斷增長的數(shù)量或新的 ALD 應(yīng)用。

原子層沉積和等離子體原子層沉積合二為一。

單晶圓或批量處理泛的高性能氧化物和氮化物。大限度地增加靈活的批量生產(chǎn)選擇。憑借其靈活的自動化平臺和將熱批量和等離子體增強(qiáng)的原子層沉積工藝模塊結(jié)合在一個集成系統(tǒng)中的功能,Beneq Transform 在如何實(shí)現(xiàn)處理序列以滿足的薄膜沉積要求方面提供了靈活性。

為晶圓廠設(shè)計(jì)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的水平晶圓裝載提供即插即用的集成。預(yù)熱模塊消除了等待時間,并將吞吐量提升到一個全新的水平。

SEMI認(rèn)證符合 SEMI S2/S8 和 SECS/GEM 標(biāo)準(zhǔn)。定制支持可確保在生產(chǎn)中順利過渡到原子層沉積

單片濕法去膠機(jī)

用于先進(jìn)封裝工藝過程中的晶圓去膠制程和金屬剝離制程。設(shè)備可搭載槽式浸泡

原子層沉積

Beneq Transform在其多功能性和適應(yīng)性方面建立了全新的AL

ALD

Beneq Prodigy™ 是 VCSEL、LED 和

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