MA200 3代提供適應眾多生產過程的智能化解決方案。多樣化的對準方案、靈活可調的鏡頭系統(tǒng)和特殊附加選項使本系統(tǒng)成為處理各種不同工藝的全能設備。
高度自動化且切實節(jié)省寶貴的處理時間。這也體現(xiàn)在細節(jié)方面，例如選擇自動更換濾光片，以便維持低運營成本。
MA200 3 代在設計方面著重凸出用戶友好性。如可調節(jié)高度的顯示器、符合人體工程學的I / O接口、連續(xù)運行期間更換晶圓盒和直接觀看曝光模塊等特性大大簡化了設備操作，即使是在高負荷工作時。
憑借其廣泛的附加選項，第 3 代 MA200 很容易就能達到特種光刻工藝的要求。
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