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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司

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有掩膜光刻機(jī)

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)VPG 800 / VPG 1400

品牌STELLA/海德堡儀器

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地國(guó)外

更新時(shí)間:2024-08-27 10:28:56瀏覽次數(shù):327次

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VPG 800 / VPG 1400 有掩膜光刻機(jī)為光掩模(0.8至1.4 m)的高通量圖案化而定制。VPG1400是我們專為顯示行業(yè)設(shè)計(jì)的最大的系統(tǒng)。它是平板顯示器 (FPD) 應(yīng)用的好的選擇,例如 TFT 陣列、彩色濾光片和 ITO。這些工具還用于先進(jìn)封裝、半導(dǎo)體、LED 和觸摸屏應(yīng)用的工業(yè)大面積光掩模應(yīng)用。

VPG 800 / VPG 1400 有掩膜光刻機(jī)為光掩模(0.8至1.4 m)的高通量圖案化而定制。VPG1400是我們專為顯示行業(yè)設(shè)計(jì)的最大的系統(tǒng)。它是平板顯示器 (FPD) 應(yīng)用的好的選擇,例如 TFT 陣列、彩色濾光片和 ITO。這些工具還用于先進(jìn)封裝、半導(dǎo)體、LED 和觸摸屏應(yīng)用的工業(yè)大面積光掩模應(yīng)用。

VPG 800 / VPG 1400 有掩膜光刻機(jī)

大光刻面積VPG+:技術(shù)的領(lǐng)航
大光刻面積的VPG  +維持原VPG系列為根基再進(jìn)化,使其更加出色。VPG于2007年推出;  是擁有專量產(chǎn)型曝光技術(shù)光刻系統(tǒng),可靠和經(jīng)濟(jì)的解決方案,適用于要求嚴(yán)謹(jǐn)?shù)难谀ぐ逯圃臁?/span>

速度更快:超高速曝光
VPG+系列具有海德堡所研發(fā)的高速光學(xué)調(diào)制器,在速度下,曝光時(shí)間可以達(dá)到原始VPG的三倍!強(qiáng)化了曝光動(dòng)能與數(shù)據(jù)傳輸路徑。

功能和選項(xiàng):配備性能
VPG  +可配置各種平臺(tái)尺寸,最大可達(dá)1400mmx1400mm。  該系統(tǒng)具有355nm波長(zhǎng)的紫外激光源,空氣軸承平臺(tái),半自動(dòng)或全自動(dòng)入料器,用于基板裝載的溫控環(huán)境室。

應(yīng)用:光罩制造和直接寫入
大光刻面積的VPG  +系統(tǒng)適用于advanced packaging, semiconductors, displays, color filters, light  emitting diodes, touch panel以及l(fā)ife  science應(yīng)用。出色的圖像質(zhì)量和對(duì)位功能,也非常適合在大面積執(zhí)行多層套刻直寫。

VPG+  最大型的設(shè)備VPG+  1400專門針對(duì)顯示器相關(guān)行業(yè)應(yīng)用:是所有VPG+系列中功能具有極其完善的溫控環(huán)境室,差分干涉儀和先進(jìn)的mura校正以及面板間距優(yōu)化功能。




有掩膜光刻機(jī)

1.手動(dòng)、半自動(dòng)、全自動(dòng)有掩膜光刻機(jī)$r$n2.高分辨率掩模對(duì)準(zhǔn)光刻,

無(wú)掩膜/激光直寫光刻機(jī)

無(wú)掩膜/激光直寫光刻機(jī) 參數(shù):1. 光源:375 nm、385 nm、

電子束光刻系統(tǒng)

電子束光刻系統(tǒng) 技術(shù)參數(shù):$r$n1.最小線寬≤8nm 光柵周期

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