1.產(chǎn)品概述：

laurell的H6-15系列勻膠機結(jié)構(gòu)緊湊，具有優(yōu)良的功能，設(shè)計為容易安裝在手套箱中的旋涂機。這款650系列HL涂布機系統(tǒng) 將 可容納高達(dá)300mm 的晶圓和9英寸×9英寸（229mm×229mm）基板，大轉(zhuǎn)速為 12,000 RPM（基于100mm硅片）。

2.設(shè)備原理：

利用電機高速旋轉(zhuǎn)時所產(chǎn)生的離心力使膠液均勻地涂敷在基底材料的表面，形成一層微米或納米厚度的均勻薄膜。

3.產(chǎn)品特色：

所有HL 系列系統(tǒng)都包括一個無線平板電腦，該平板電腦具有Laurell Touch 過程控制軟件。

通過使用其隨附的PC 軟件Spin 3000，它在流程定義和使用方面都實現(xiàn)了高的靈活性。該無線控制器允許操作員在實驗室的任何地方進(jìn)行實時交互，包括暫停時間、停止和從該點繼續(xù)。該系統(tǒng)可以并且將通過可下載的固件修訂版在現(xiàn)場輕松快速地持續(xù)更新。

這些過程在控制水平下運行，我們提供的復(fù)雜性。HL 系列控制器也可以與帶有 Spin 3000 的 PC 結(jié)合使用， Laurell 的流程管理軟件。但是，這不是編程或運行設(shè)備所必需的。

使用 PC 增加了在運行過程、遠(yuǎn)程操作、編程或通過 LAN 或 Internet 進(jìn)行通信時記錄過程的能力。該軟件免費提供，允許操作員在實際安裝的自旋處理器硬件之外創(chuàng)建虛擬過程模擬，實際上，讓他們在進(jìn)入過程之可以嘗試一下。所有HL系列系統(tǒng)都可以在不返回工廠的情況下通過簡單的插件模塊進(jìn)行升或重新利用，無論是實際的還是虛擬的，并且可以包含幾乎無限數(shù)量的流程和步驟。