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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司

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高真空脈沖激光濺射薄膜沉積系統(tǒng)

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)PLD300

品牌沈陽(yáng)科儀

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地沈陽(yáng)市

更新時(shí)間:2024-09-05 09:54:51瀏覽次數(shù):272次

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產(chǎn)品概述:
高真空脈沖激光濺射薄膜沉積系統(tǒng)主要由濺射真空室、旋轉(zhuǎn)靶臺(tái)、抗氧化基片加熱臺(tái)、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、安裝機(jī)臺(tái)、真空測(cè)量及電控系統(tǒng)等部分組成。
設(shè)備用途:
用于制備超導(dǎo)薄膜、半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜、超硬薄膜等。廣泛應(yīng)用于大專院校、科研院所進(jìn)行薄膜材料的科研。

1.產(chǎn)品概述

高真空脈沖激光濺射薄膜沉積系統(tǒng)主要由濺射真空室、旋轉(zhuǎn)靶臺(tái)、抗氧化基片加熱臺(tái)、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、安裝機(jī)臺(tái)、真空測(cè)量及電控系統(tǒng)等部分組成。

2.設(shè)備用途:

高真空脈沖激光濺射薄膜沉積系統(tǒng)用于制備超導(dǎo)薄膜、半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜、超硬薄膜等。廣泛應(yīng)用于大院校、科研院所進(jìn)行薄膜材料的科研。

3.產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn):

可對(duì)化學(xué)成分復(fù)雜的復(fù)合物材料進(jìn)行全等同鍍膜,易于保證鍍膜后化學(xué)計(jì)量比的穩(wěn)定。

反應(yīng)迅速,生長(zhǎng)快,通常一小時(shí)可獲得一定厚度的薄膜。

定向性強(qiáng)、薄膜分辨率高,能實(shí)現(xiàn)微區(qū)沉積。

生長(zhǎng)過(guò)程中可原位引入多種氣體,對(duì)提高薄膜質(zhì)量有重要意義。

容易制備多層膜和異質(zhì)膜,通過(guò)簡(jiǎn)單的換靶即可實(shí)現(xiàn)

4.真空室結(jié)構(gòu):

球形結(jié)構(gòu)

真空室尺寸:Ф300mm

限真空度:≤6.67E-5Pa

沉積源:Φ30mm,每次可裝4塊靶材,可實(shí)現(xiàn)公轉(zhuǎn)換靶位;每塊靶材可自轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速5~60轉(zhuǎn)/分;

樣品尺寸,溫度:1英寸,高800℃

占地面積(長(zhǎng)x寬x高):約1.8米x0.97米x1.9米

電控描述:全自動(dòng)

工藝:片內(nèi)膜厚均勻性:≤±5%

濺射系統(tǒng)

iTops PVD AlN 濺射系統(tǒng),采用托盤形式,可兼容 2/4/6

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